前段制程是顯示面板制造過(guò)程中重要環(huán)節(jié),Array面板制程利用AOI檢測(cè)技術(shù)監(jiān)控制造過(guò)程的外觀(guān)缺陷,其檢測(cè)精度和效率對(duì)產(chǎn)品良率和成本產(chǎn)生重要的影響。外圍電路、不規(guī)則區(qū)域的檢測(cè)困難,成為各顯示工廠(chǎng)Array段品控的難點(diǎn)。
天準(zhǔn)的標(biāo)定平臺(tái)技術(shù)支持圖像更好拼接,實(shí)現(xiàn)分區(qū)域檢測(cè),對(duì)AA區(qū)采用周期對(duì)比的方式,對(duì)外圍區(qū)域采用 Panel to Panel 對(duì)比方式
天準(zhǔn)自主開(kāi)發(fā)的Virgo軟件平臺(tái)支持矩形、圓形、半圓形等異形Map建立
檢測(cè)精度1.0μm / 1.5μm可切換