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      虹潤溫度控制器在單晶爐設(shè)備改造中的應(yīng)用

      2024年04月28日 15:09:45人氣:358來源:福建順昌虹潤精密儀器有限公司

      一、摘要

             虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器適用于需要進行高精度多段曲線程序升/降溫控制的系統(tǒng),它可根據(jù)生產(chǎn)過程的要求,按照一定的曲線進行控制,最多可分59段曲線對象進行編程控制,每一段均采用PID參數(shù)設(shè)定控制,使控制更為精確可靠,方便靈活的曲線控制功能,可實時監(jiān)控曲線程序段的運行時間和狀態(tài),多種事件輸入功能。通過多種曲線控制輸出功能,可實現(xiàn)曲線控制暫停、曲線控制清零、曲線控制步進等功能,并可實現(xiàn)手/自動無擾動切換。

      二、產(chǎn)品的市場背景

             單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。單晶爐需要控制的內(nèi)容包含晶體的直徑、溫度(功率)、原料(硅料)、泄漏率和氬氣質(zhì)量等,其中溫度控制好壞直接影響到是否成為晶體的關(guān)鍵因素。虹潤自主開發(fā)的虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器在單晶爐的溫度控制中發(fā)揮著重要的作用。

      三、產(chǎn)品的主要技術(shù)原理

             1、軟件采用人工智能控制算法,通過上電自動跟蹤測量值變化,根據(jù)時間和所設(shè)定控制值的函數(shù)關(guān)系分段實現(xiàn)溫度的升溫、保溫和降溫的溫度調(diào)節(jié)

             2、根據(jù)編程的生產(chǎn)工藝曲線,可實現(xiàn)曲線的步進、跳轉(zhuǎn)、停止、清零等功能

             3、產(chǎn)品在整個單晶路溫度調(diào)節(jié)中主要負責溫度的精準控制。

      四、產(chǎn)品的應(yīng)用

             虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器在單晶路溫度控制原理圖見下圖:

      1565251270128127.gif

             電路說明:交流電源經(jīng)變壓器降壓后使用,輸出電壓25V,輸出電流28A、MJYD-JL-75為晶閘管智能模塊,內(nèi)含晶閘管和移相控制電路,輸出最大電壓450V,最大電流75A,L1為過流保護熔斷器,RSV為過壓保護阻容元件。RW為電爐絲。

             NHR-5400輸出為0-10MA電流,經(jīng)過1K電阻后,輸出變?yōu)?-10V直流電壓,滿足晶閘管模塊的輸入電壓要求。

             主要控制設(shè)備:虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器

      2.gif

             輔助設(shè)備:熱電偶、可控硅、固態(tài)繼電器、過壓保護阻容器件等

             根據(jù)單晶爐溫度控制的特點,虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器設(shè)定工藝曲線如下:

      攝氏度
      分鐘

      SV01=25.0

      SV02=255.0

      SV03=255.0

      SV04=455.0

      SV05=455.0

      SV06=825.0

      SV07=825.0

      SV08=825.0

      SV09=825.0

      SV10=825.0

      SV11=825.0

      SV12=355.0

      SV13=25.0

      從室溫25.0℃開始升溫

      升到255.0℃

      保溫在255℃

      升到455.0℃

      保溫在455.0℃

      上升到825.0℃

      保溫在825.0℃

      保溫在825.0℃

      保溫在825.0℃

      保溫在825.0℃

      保溫在825.0℃

      下降到355.0℃

      下降到25.0℃

      TI01=60

      TI01=120

      TI03=120

      TI04=90

      TI05=300

      TI06=8640

      TI07=8640

      TI08=8640

      TI09=8640

      TI10=4320

      TI01=360

      TI12=600

      TI13=-121

      經(jīng)過60分鐘

      經(jīng)過120分鐘

      經(jīng)過120分鐘

      經(jīng)過90分鐘

      經(jīng)過300分鐘

      經(jīng)過8640分鐘

      經(jīng)過8640分鐘

      經(jīng)過8640分鐘

      經(jīng)過8640分鐘

      經(jīng)過4320分鐘

      經(jīng)過360分鐘

      經(jīng)過600分鐘

      停止

      按照上述的設(shè)定參數(shù)試驗控制效果,控制精度可達±0.5°C

      產(chǎn)品圖片:

      3.gif

      五、結(jié)束語

             采用虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器作為主核心控制系統(tǒng)以來,碲鎘汞單晶爐的控制運行狀況良好,至今仍出現(xiàn),可以替代進口的控制儀表。無論從運行實際狀況來看,還是從性價比來看,選擇NHR-5400確實能夠要求。


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