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      分子泵動平衡儀的工作原理

      2023年05月08日 14:34:04人氣:851來源:上海永趨智能科技有限公司

        分子泵動平衡儀是一種用于測量很高真空(Ultra High Vacuum, UHV)下氣體分子流的儀器。它利用分子泵將UHV中的氣體抽出,并通過檢測分子泵內(nèi)殘留氣體的壓力變化,來確定氣體分子流的大小和分布。本文將介紹它的基本原理、工作原理以及應(yīng)用。
       
        基本原理:
       
        原理可以概括為“動態(tài)平衡法”。該方法利用了分子泵兩個基本特性:其一是大量抽氣速率;其二是不同分子在分子泵內(nèi)運動時,由于分子大小、形狀和相互作用的差異而產(chǎn)生的速度分散。因此,在分子泵內(nèi)殘留氣體的壓力與分子泵抽氣速率達(dá)到動態(tài)平衡時,即可推斷出氣體分子流的大小和分布。
       
        工作原理:
       
        主要由分子泵、儲氣罐、電離檢測器和信號處理裝置等部分組成。其工作流程如下:
       
        (1)分子泵抽氣
       
        首先,分子泵抽出UHV中的氣體,并使其內(nèi)部壓力下降極低水平。此時,UHV中的氣體分子被迅速抽出,形成高真空環(huán)境。
       
        (2)儲氣罐貯存氣體
       
        接著,濾過分子泵的氣體被收集到一個儲氣罐中,用于后續(xù)的分析和處理。因為在實驗室中很難獲得絕對的真空環(huán)境,所以需要使用儲氣罐將氣體貯存起來,以供后續(xù)的實驗需要。
       
        (3)電離檢測器檢測氣體電離程度
       
        儲氣罐中的氣體在經(jīng)過加熱或放電等處理后,會發(fā)生電離并產(chǎn)生離子。這些離子會通過電離檢測器進(jìn)行檢測和計數(shù)。離子的數(shù)量與氣體分子流的大小成正比。
       
        (4)信號處理裝置處理數(shù)據(jù)
       
        最后,電離檢測器輸出的信號會通過信號處理裝置進(jìn)行處理,并生成氣體分子流的相關(guān)參數(shù),如分子流量、分子種類和分布等。
       

      分子泵動平衡儀

       

        應(yīng)用:
       
        分子泵動平衡儀廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究領(lǐng)域,如表面物理和化學(xué)、材料科學(xué)以及納米技術(shù)等。具體應(yīng)用包括:
       
        (1)表面分析
       
        可以在表面物理和化學(xué)研究中測量氣體分子在樣品表面吸附和反應(yīng)的速率和動力學(xué)參數(shù)。這對于研究表面反應(yīng)和薄膜生長過程非常重要。
       
        (2)材料科學(xué)
       
        在材料科學(xué)研究中,可用于測量材料表面的化學(xué)性質(zhì)和表面能。通過對吸附在材料表面的分子流的測量,還可以確定材料的孔隙度和多孔性。
      關(guān)鍵詞:動平衡儀平衡儀
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