1)高剛度高穩(wěn)定性床身

  床身采用整體花崗巖結構，由于花崗巖具有高阻尼、小振動、熱穩(wěn)定性佳等特性，可以保證磨床高剛度和高穩(wěn)定性。

  2)工作臺

  工作臺面采用整體花崗巖結構，在傳統(tǒng)閉式靜壓導軌的基礎上開發(fā)了高剛性、高精度的大平面閉式靜壓導軌，以實現(xiàn)工作臺的大行程、平穩(wěn)、可靠的往復運動。工作臺采用SIEMENS直線電機進行驅動，同時為了防止直線電機的運動影響臺面，專門為直線電機設計了靜壓導軌。臺面的運動狀態(tài)由HEIDENHAIN光柵系統(tǒng)進行閉環(huán)控制，從而保證了工作臺具有高精度、快速響應的運動特性。

  3)立柱、滑座與橫梁

  可控制由于熱引起的機床變形，立柱和橫梁采用花崗巖制成。砂輪橫向位移滑座置于固定的橫梁上、安裝砂輪架的垂直運動拖板置于橫向位移滑座上。橫向位移和垂直運動均采用SIEMENS伺服電機直接驅動高精度滾珠絲杠來完成，HEIDENHAIN光柵位置反饋。橫向位移滑座以及垂直運動拖板的導軌同樣采用的是液體靜壓導軌。另外在垂直運動拖板上配備了微量進給機構，可以實現(xiàn)砂輪架0.1 μm的微進給。為了減少砂輪架滑座自重及其橫向位移引起的橫梁變形，在橫梁的正上方設置了卸荷裝置(卸荷橫梁)。用以承擔砂輪架滑座的大部分自重，并且通過HEIDENHAIN光柵位置反饋實現(xiàn)卸荷裝置與砂輪橫向位移滑座的運動同步，從而大限度的減少橫梁變形對磨削加工的影響。

  4)砂輪架

  開發(fā)了轉速范圍廣、高剛性、高精度砂輪靜壓主軸系統(tǒng)，以實現(xiàn)砂輪的高剛性、高精度回轉運動。砂輪軸采用液體靜承支承，SIEMENS內置式主軸電機，采用冷卻液強制冷卻主軸電機，砂輪主軸配備了砂輪平衡裝置，配套的管理控制程序能在循環(huán)中連續(xù)監(jiān)測砂輪的情況并立即對可能出現(xiàn)的不平衡量進行補償。

  5)測量系統(tǒng)

  機床配備了激光干涉儀作為加工精度的在位測量系統(tǒng)，通過機床臺面運動和測量拖板橫向運動，使激光干涉儀的鏡頭可以掃描所有加工面積。當機床進行磨削加工時，測量橫梁可以運動到加工范圍以外。

  超精密大尺寸光學玻璃平面磨床是針對國家重要光學工程行業(yè)面臨重大需求而研究開發(fā)的，是具有水平的超精密加工關鍵裝備。該項目的開發(fā)成功，能夠實現(xiàn)450×1200mm光學玻璃的高精度、高效率磨削，工件平面度可達3μm，縮短了后續(xù)研磨拋光的時間，可滿足激光、航空航天等領域對超精密大尺寸平面玻璃的大批量需求，對我國天文科學、國家重點工程和裝備的發(fā)展具有重要意義，并將進一步推動我國光學和激光領域制造裝備的技術突破，提升我國相關領域的競爭力和創(chuàng)新能力。