測量系統(tǒng)的性能取決于所選傳感器的靜態(tài)和動態(tài)特性。對于測量量快速變化的運動控制系統(tǒng)，必須考慮測量系統(tǒng)輸入和輸出之間的動態(tài)關(guān)系，尤其是在涉及離散采樣時。相反，在某些應(yīng)用中，測量的參數(shù)可能變化緩慢；因此在選擇過程中只需要考慮靜態(tài)性能。

　1、準確性

　準確度是衡量傳感器輸出與輸入真實值之間關(guān)系的指標。在任何準確度規(guī)范中，該值都需要通過說明正在考慮哪些錯誤以及它們發(fā)生的條件的聲明來限定。

　2、死區(qū)

　死區(qū)是傳感器無法響應(yīng)的輸入變化；這通常是由摩擦、間隙或滯后等機械效應(yīng)引起的。

　3、漂移

　漂移是傳感器輸出的變化，它不是由輸入的變化引起的；通常，它是由傳感器或其調(diào)節(jié)系統(tǒng)的熱效應(yīng)引起的。

　4、線性度

　線性度是在傳感器的有用范圍內(nèi)輸入/輸出比的一致性的量度。它的輸入輸出特性應(yīng)該是線性的，并且應(yīng)該以對稱的方式產(chǎn)生這些特性。

　5、重復(fù)性

　可重復(fù)性是在給定的一組環(huán)境條件下，一組輸出值與恒定輸入一致的接近程度的度量。當相同的輸入信號在溫度、壓力、濕度等固定環(huán)境條件下一次又一次地施加時，它應(yīng)該再現(xiàn)相同的輸出信號。

　6、解析度

　分辨率是傳感器可以確定地檢測到的輸入的最小變化。

　7、靈敏度

　靈敏度是輸出變化與輸入變化的比值。這有時被稱為增益或比例因子。

　8、堅固性

　它應(yīng)能承受過載，并應(yīng)提供一些安全裝置以提供過載保護。需要清楚地了解應(yīng)用于測量系統(tǒng)的精度、可重復(fù)性和分辨率之間的相互作用?？梢該碛芯哂懈呋虻途群涂芍貜?fù)性的測量系統(tǒng)；與目標位置相比的測量結(jié)果如圖所示。