壓電式振動(dòng)傳感器CZ20，利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后，電阻率發(fā)生變化，通過(guò)測(cè)量電路就可得到正?比于力變化的電信號(hào)輸出。壓阻式傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何?、加速度、重量、?yīng)變、流量、真空度）的測(cè)量和控制。

壓阻式傳感器的結(jié)構(gòu)

這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上，制成硅壓阻芯片，并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi)，引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器，它不同于粘貼式應(yīng)變計(jì)需通過(guò)彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過(guò)硅膜片感受被測(cè)壓力的。 

硅膜片的一面是與被測(cè)壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計(jì)成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條，并接成全橋，其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū)，另兩條處于拉應(yīng)力區(qū)，相對(duì)于膜片中心對(duì)稱。 

此外，也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條，兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。 

壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴(kuò)散電阻而制成的器件。其基片可直接作為測(cè)量傳感元件，擴(kuò)散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。 

技術(shù)參數(shù)：

■ 靈 敏 度：20-50mV/mm/s±5%；測(cè)試條件：（溫度20℃±5℃，在80Hz，速度為10mm /s情況下測(cè)得）

■ 振幅極限：≤2000μm (峰-峰)；

■ 頻率響應(yīng)：（10~1000）Hz；

■ 加速度：10g；

■ 測(cè)量方向：垂直或水平；（通用型）

■ 安裝方式：在傳感器底部中心孔用一個(gè)M10×1或M10X1.5的螺釘固定；

■ 輸出接線方式：航空接插件；

■ 環(huán)境條件：防塵、防潮

■ 使用溫度：（-30 ~ 120）℃；

■ 相對(duì)濕度：≤95 %（非冷凝）；

■ 外形尺寸：Φ32×78（mm）；