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單電容平板壓力傳感器的結(jié)構(gòu)及工作原理
電容式傳感器分為極距變化型、面積變化型,當(dāng)被測(cè)參數(shù)的變化通過這三種情況之一直接影響電容量的大小時(shí),檢測(cè)出電容的變化時(shí)就等于獲得了被測(cè)參數(shù)的大小,電容式壓力傳感器常采用極距變化型。壓力使傳感器*的可動(dòng)部件即測(cè)量膜片極板產(chǎn)生微小的位移,造成與固定極板所形成的電容量發(fā)生變化。
雙電容平板差動(dòng)型壓力傳感器的結(jié)構(gòu)及工作原理
為提高靈敏度和減小非線性,大多壓力傳感器休用雙電容平板差勁結(jié)構(gòu),可動(dòng)極板位于兩塊固定板極之間,與兩固定極板等距離,當(dāng)壓力使可動(dòng)極板向上移動(dòng)時(shí),引起差動(dòng)電容增大,減小。
與單電容式壓力傳感器相比,不僅靈敏度提高,非線性誤差也變小了,可見差動(dòng)式壓力傳感器優(yōu)于單電容壓力傳感器。
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