ADL GG03.1電源應(yīng)用于微電子、光學(xué)和傳感器
ADL 離子源電源
對于離子源(Kaufmann 和 ECR)的作,可以使用特殊電源。根據(jù)要求,這些裝置還可以配備其他輸出電壓或輸出功率。所有電源均具有 AS 4 接口、Profibus、EtherCat 或 RS232/484 接口。
ADL 突出
在離子束和等離子體工藝技術(shù)中的廣泛應(yīng)用
蝕刻、濺射等等
ADL 創(chuàng)新創(chuàng)新應(yīng)用,例如微電子、光學(xué)和傳感器
ADL GG 03.1加速器
ADL輸出功率30W
ADL輸出電壓最大1000 V
ADL輸出電流300\mA
ADL功率消耗100 VA
ADL指示
電流和電壓的31/2位數(shù)字顯示
ADL控制
電流或電壓控制
ADL操作模式
通過前面板或外部控制接口手動
ADL
設(shè)定值
0...100%的額定值電流和電壓
輸出精度
電流或電壓的標(biāo)稱值的+/-1%
ADL冷卻系統(tǒng)
空氣冷卻
內(nèi)置風(fēng)扇,最大環(huán)境溫度40℃
風(fēng)扇噪音排放
噪音水平<70 分貝(A)
ADL機(jī)械數(shù)據(jù)
尺寸
寬度:218毫米(1/219英寸),高度:132.5毫米(3HU),長度560
重量(不含包裝)
11千克
控制插座X3-接口AS4
這個25針Sub.-D-插座是所有信號接口,用于遠(yuǎn)程開關(guān)機(jī)、選擇工作模式、
輸入設(shè)定值以及監(jiān)測電流、電壓和功率的實(shí)際值。
ADL控制輸入:
控制輸入通過光耦合器或繼電器(聯(lián)鎖和SV.-Ext.)提供,從而實(shí)現(xiàn)電氣隔
離。為了設(shè)置一個功能,將+24V的電壓施加到相應(yīng)的控制輸入。該電壓始
終參考引腳21(數(shù)字Gnd)。如果無法獲得外部的+24V控制電壓,可以將
引腳21(數(shù)字GND)連接到引腳25(GND),并將相應(yīng)的輸入連接到引腳
14 (+24V)。
ADL GG03.1電源應(yīng)用于微電子、光學(xué)和傳感器