ADL GG 03電源用于長光束源的直流電源
ADL 離子源電源
對于離子源(Kaufmann 和 ECR)的作,可以使用特殊電源。根據(jù)要求,這些裝置還可以配備其他輸出電壓或輸出功率。所有電源均具有 AS 4 接口、Profibus、EtherCat 或 RS232。
ADL突出特性:
在離子束和等離子體工藝技術(shù)中的廣泛應(yīng)用
ADL蝕刻、濺射等等
ADL創(chuàng)新應(yīng)用,例如微電子、光學(xué)和傳感器
ADL GG 03加速器技術(shù)參數(shù):
ADL輸出功率300W
輸出電壓最大1000 V
輸出電流300mA
功率消耗500 VA
ADL指示
電流和電壓的31/2位數(shù)字顯示
ADL控制
電流或電壓控制
ADL操作模式
通過前面板或外部控制接口手動
ADL設(shè)定值 :0...100%的額定值電流和電壓
輸出精度
電流或電壓的標(biāo)稱值的+/-1%
ADL主電源輸入連接
線路電壓
230V,+/-10 %,50/60 Hz,PE
冷卻系統(tǒng)
空氣冷卻
內(nèi)置風(fēng)扇,最大環(huán)境溫度40℃
風(fēng)扇噪音排放
噪音水平<70 分貝(A)
ADL機(jī)械數(shù)據(jù)
尺寸
寬度:218毫米(1/219英寸),高度:132.5毫米(3HU),長度560
重量(不含包裝)
11千克
ADL GG 03電源用于長光束源的直流電源