采用XY軸共面設(shè)計的ABT 210-XY系列氣浮平臺擁有比一般XY平臺更加優(yōu)秀的平面度及形位公差， 無鐵芯直線電機(jī)保證了運動軸的運動精度、高動態(tài)響應(yīng)以及運動效果均勻性，花崗巖底座更是為的平面度提供了保證，是晶圓檢測以及高精度面型微加工的。

主要性能參數(shù)：


*平臺速度取決于有效行程、光柵分辨率以及光柵和驅(qū)動器的時鐘頻率，不同配置會導(dǎo)致此項參數(shù)上限值的變化，詳詢廠家

**速度均勻性又稱速度誤差，與速度所處區(qū)間關(guān)系較大，速度越慢速度誤差比例越大，低于1mm/s的應(yīng)用，推薦采用線性驅(qū)動器

***此數(shù)據(jù)為實驗室實測數(shù)據(jù)上限， 如有更高要求， 需搭配A OZ-MCS系列控制器， 詳詢廠家

此數(shù)據(jù)為標(biāo)定后參數(shù)

ABT 210-XY外形尺寸圖

*實際尺寸會根據(jù)客戶所需的行程來確定

**如需要進(jìn)一步的尺寸信息或者3D圖檔，請直接聯(lián)系廠家

產(chǎn)品型號命名規(guī)則：

①ABT 210為產(chǎn)品系列， ABT為直線電機(jī)平臺的英文縮寫， 210代表著平臺滑塊部分的寬度

②X*Y代表著該型號產(chǎn)品的有效行程，單位mm，標(biāo)準(zhǔn)品請從產(chǎn)品樣冊的型號中選，如需其它行程，可聯(lián)系廠家溝通定制

③ER代表編碼器的類型，所有直線電機(jī)產(chǎn)品默認(rèn)采用直線開放式光柵

④5代表該型號產(chǎn)品光柵的分辨率，單位nm，默認(rèn)產(chǎn)品分辨率為5nm，為模擬量光柵4096細(xì)分后所得，分辨率的改變會導(dǎo)致平臺速度以及重復(fù)定位精度的變化，詳細(xì)情況請進(jìn)一步咨詢廠家

⑤C30代表設(shè)備出線長度為3m，單位m，默認(rèn)產(chǎn)品出線長度3m，可選0.5m/1.5m/3m/5m等，寫作05/15/30/50，出線長度會因產(chǎn)品型號不同存在誤差，如設(shè)備對出線長度要求較高，請聯(lián)系廠家進(jìn)一步溝通，出線長度超過3m需按實際超出長度另外計費。

特別注意事項：

1、直線電機(jī)平臺屬于高精度精密設(shè)備，因此如果希望得到性能，需要保證足夠的使用環(huán)境，尤其在使用要求重復(fù)定位精度小于1um的設(shè)備上，所有指標(biāo)的復(fù)現(xiàn)都需要滿足一定的溫度、濕度、氣壓、振動等，詳細(xì)要求可進(jìn)一步聯(lián)系廠家咨詢溝通

2、所有平臺可單獨訂購， 如對設(shè)備的精度以及性能要求較高， 推薦使用奧正智能自主生產(chǎn)的MCS控制器系列， 搭配MCS系列控制器出貨的產(chǎn)品， 在出廠檢驗中都會做針對性的優(yōu)化和校準(zhǔn)， 是您高要求使用的。

3、氣浮平臺需搭配空壓機(jī)、儲氣罐、冷干機(jī)、油水分離器、過濾器、干燥器、調(diào)壓閥等輔助配件，詳細(xì)規(guī)格請咨詢廠家