熱式氣體質量流量計是利用熱傳導原理測流量的儀表。該儀表采用恒溫差法對氣體質量流量進行準確測量。具有體積小、數(shù)字化程度高、安裝方便，測量準確等優(yōu)點。傳感器部分由兩個基準級鉑電阻溫度傳感器組成。采用橋式環(huán)路，一個傳感器測量流量溫度，另一個傳感器維持高于流體溫度的恒溫差，可以在高溫和高壓條件下進行流量測量。
熱式氣體質量流量計具有如下技術優(yōu)勢：
1.數(shù)字化設計。整體數(shù)字化電路測量，測量準確、維修方便。
2.采用RS-485通訊，或HART通訊，可以實現(xiàn)工廠自動化、集成化。
3.安裝維修簡便。在現(xiàn)場條件允許的情況下，可以實現(xiàn)不停產安裝和維護。
4.真正的質量流量計，對氣體流量測量無需溫度和壓力補償，測量方便、準確?？傻玫綒怏w的質量流量或者標準體積流量。
5.寬量程比，可測量流速高至100Nm/s底至0.5Nm/s的氣體，可以用于氣體檢漏。
6.抗震性能好使用壽命長。傳感器無活動部件和壓力傳感部件，不受震動對測量精度的影響。
熱式氣體質量流量計的傳感器部分由二個精密鉑熱電阻組成。該電阻封裝在不銹鋼管內，與流體介質不直接接觸，但有良好的傳熱性能。其中一根較短的為介質溫度傳感元件；另一根為加熱元件。當氣體流過加熱元件時，將熱量帶走。帶走的的熱量與流體的流速和流體的密度成正比。
熱式氣體質量流量計由兩個溫度傳感器組成。一定量的加熱功率P施加至其中一個傳感器上．使其溫度升高至被測值T2。另一個傳感器測量氣體溫度T1。根據被加熱器傳感器和氣體的溫差(△T2T1)和所加熱功率P就可以確定氣體的質量流量。