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      聚酰亞胺(Polyimide,PI)烘烤固化關(guān)鍵技術(shù)點

      2023年05月18日 09:39:27人氣:896來源:上海卷柔新技術(shù)有限責(zé)任公司

      聚酰亞胺(Polyimide,PI)烘烤固化關(guān)鍵技術(shù)點


      摘要






          PI具有最高的阻燃等級(UL-94),良好的電氣絕緣性能、機械性能、化學(xué)穩(wěn)定性、耐老化性能、耐輻照性能、低介電損耗,且這些性能在很寬的溫度范圍(-269℃-400℃)內(nèi)不會發(fā)生顯著變化,是非常優(yōu)質(zhì)高分子材料。








      介紹


      聚酰亞胺薄膜是目前世界上性能好的薄膜類絕緣材料,在微電子領(lǐng)域應(yīng)用包括:
      ● 再分配層的應(yīng)力緩沖涂層
      ● 促進成型化合物的粘附性
      ● 應(yīng)力緩沖涂層
      ● 在已完成的 IC 上面的保護性鈍化層
      ● 集成電路中金屬層之間的低 K 分離器
      ● 芯片粘接
      ● 層間電介質(zhì)
       聚酰亞胺通常以液態(tài)形式應(yīng)用,然后熱固化成薄膜或?qū)?,以實現(xiàn)所需的特性。精確的溫度均勻性是至關(guān)重要的,以避免聚酰亞胺層出現(xiàn)裂縫和顏色變化。顏色的均勻性對裝配中使用的圖案識別系統(tǒng)很重要,在這個過程中的低氧值有助于獲得明亮的材料和良好的附著力。

      三種類型的聚酰亞胺:
      ● 非感光性聚酰亞胺
      ● 光敏性,離子型聚酰亞胺
      ● 光敏性,酯類聚酰亞胺

      非感光性聚酰亞胺
      非感光性聚酰亞胺的成本較低,且易于處理。在熱固化過程中產(chǎn)生的副產(chǎn)品是液體,所以它們通常不會在加工室壁上形成沉積物。為了將聚酰亞胺前體轉(zhuǎn)化為穩(wěn)定的聚酰亞胺薄膜,需要在高溫(約 250℃至 450℃)下延長烘烤時間,以實現(xiàn)的亞胺化;它還可以驅(qū)除 N-甲基吡咯烷酮(NMP)鑄造溶劑,并使聚合物鏈定向以獲得最佳的電氣和機械性能。

      光敏聚酰亞胺
      與標(biāo)準(zhǔn)的非光敏聚酰亞胺相比,光敏聚酰亞胺具有簡化加工的優(yōu)勢,因為它不需要光刻膠。這就減少了加工步驟的數(shù)量。對于某些類型的光敏前體,光敏成分可能難以從聚酰亞胺薄膜中演變出來。殘留的光敏聚酰亞胺前體可能會引起比標(biāo)準(zhǔn)聚酰亞胺薄膜中的更大的內(nèi)部薄膜誘導(dǎo)應(yīng)力。酯鍵類型比離子類型更穩(wěn)定,并且有最長的保質(zhì)期。酯類聚酰亞胺對未暴露區(qū)域的溶解性也更好。適當(dāng)?shù)墓袒繕?biāo)過程是:
      ● 完成亞胺化過程。
      ● 優(yōu)化薄膜粘附性能。
      ● 清除所有殘留的溶劑和無關(guān)的氣體,以及移除感光元件。

      當(dāng)溶劑和光敏成分均勻有效地從薄膜中揮發(fā)出來時,酰亞胺化過程得到更好的控制。如果胺化速度控制不當(dāng),在整個晶圓上會出現(xiàn)局部的機械應(yīng)力變化,這可能會影響薄膜對基材的附著力。此外,環(huán)境中的氧氣會使聚酰亞胺薄膜變暗。當(dāng)在后續(xù)加工過程中使用多個聚酰胺層時,這種薄膜的透明度是至關(guān)重要的。對于多層加工,加工順序的對準(zhǔn)標(biāo)記可能會被低透明度的聚酰亞胺薄膜層所遮蓋。







      結(jié)果與討論

      推薦烘箱:
      1、高溫?zé)o氧烘箱,最高溫度可達到450℃,含氧量控制在100PPM以內(nèi),滿足聚酰亞胺高溫?zé)o氧烘烤的要求。

      圖片

      450度光刻膠固化烤箱


      2、真空高溫烘箱
      利用真空烘箱有利于,在負(fù)壓環(huán)境下使溶劑有效地蒸發(fā),從而降低烘烤時間,同時也滿足無氧的苛刻條件。

      圖片

      芯片半導(dǎo)體專用真空烤箱


      圖片



      上海卷柔儀器設(shè)備有限公司是一家高科技合資企業(yè),生產(chǎn)銷售鹽霧箱、恒溫恒濕機、冷熱沖擊機、振動試驗機、機械沖擊機、跌落試驗機的環(huán)境試驗儀器的公司,研發(fā)生產(chǎn)銷售經(jīng)營各類可靠性環(huán)境試驗設(shè)備。經(jīng)驗豐富,并得到許多國內(nèi)外廠商的信賴與支持。

      自公司成立以來,多次服務(wù)于國內(nèi)外大學(xué)和研究所等檢測機構(gòu),如清華大學(xué)、蘇州大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、北京工業(yè)大學(xué)、法國申美檢測、中科院物理所、中科院,SGS等**單位提供實施室方案和設(shè)備及其相關(guān)服務(wù)。努力開發(fā)半導(dǎo)體、光電、光通訊、航天太空、生物科技、食品、化工、制藥等行業(yè)產(chǎn)品所需的測試設(shè)備裝置。公司擁有一支的研發(fā)、生產(chǎn)和售後隊伍,從產(chǎn)品的研發(fā)到售后服務(wù),每一個環(huán)節(jié)都以客戶的觀點與需求作為思考的出發(fā)點。


      • 為適應(yīng)市場快速變化及客戶多樣化的要求,上海卷柔儀器設(shè)備有限公司研發(fā)了性能與可靠性**JianHuTest產(chǎn)品系列.從精密零件到電腦資訊系統(tǒng)及有線無線通訊產(chǎn)業(yè),均可提供高品質(zhì)的設(shè)備與完善的售后服務(wù)。



      •  上海卷柔榮獲企業(yè),表明上海卷柔在技術(shù)、科技成果轉(zhuǎn)化、擁有自主知識產(chǎn)權(quán)等方面得到了國家的高度認(rèn)可。卷柔一直秉承"服務(wù)以人為本"的宗旨,為廣大客戶提供精良的設(shè)備及優(yōu)質(zhì)的服務(wù),提供的送貨上門、安裝調(diào)試、一年的設(shè)備保養(yǎng)、終身維修,技術(shù)指導(dǎo)服務(wù)。始終如一的以"努力、合作、飛躍"的精神自我完善、不斷發(fā)展、讓客戶與公司實現(xiàn)雙贏局面。

      • 卷柔是集設(shè)計、銷售、研發(fā)、維修服務(wù)等為一體的綜合集團公司,從產(chǎn)品的研發(fā)到售后服務(wù),每一個環(huán)節(jié)之間,都以客戶的觀點與需求作為思考的出發(fā)點,提供的環(huán)境設(shè)備。公司創(chuàng)始人從事儀器設(shè)備行業(yè)20余年,經(jīng)驗豐富、資歷雄厚,帶領(lǐng)卷柔公司全體同仁攜手共建輝煌明天。公司成立以來,積極投入電子電工,航空,航天,生物科技,各大院校,及科研單位等行業(yè)所需的產(chǎn)品測試設(shè)備裝置。


      • 卷柔擁有一支的研發(fā)、生產(chǎn)和售后服務(wù)隊伍,從產(chǎn)品的研發(fā)到售后服務(wù),每一個環(huán)節(jié)都以客戶的觀點與需求作為思考的出發(fā)點,目前擁有博士學(xué)位2人,碩士5人,參與環(huán)境試驗箱國家標(biāo)準(zhǔn)起草和發(fā)行。企業(yè)制定標(biāo)準(zhǔn),行業(yè)里通過ISO9001。是中國儀器儀表學(xué)會會員和理事單位。曾榮獲CCTV《中國儀器儀表20強品牌》殊榮,2010年入駐上海世博會民企館。卷柔自創(chuàng)辦以來,參與3項國家標(biāo)準(zhǔn)起草與制定,獲得40+件原創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)、軟著、集成電路),6次獲得上??萍夹椭行∑髽I(yè)稱號,合作過3200+家合作客戶(其中世界500強高校600家)。


      • 卷柔儀器今后必將牢記為客戶提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品和服務(wù)的宗旨,不忘為行業(yè)貢獻前沿科學(xué)和技術(shù)的初心,再接再厲,砥礪前行!

      • 【卷柔儀器簡介:成立2005年,是一家研發(fā),生產(chǎn),銷售及售后齊全的綜合性設(shè)備生產(chǎn)單位,多次評為科技型中小企業(yè),,客戶遍布高分子,汽車,半導(dǎo)體,塑膠,五金,科研院校,第三方檢測等】

      •   【公司總部】




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