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      HVA 真空閥門應用于E-Beam 鍍膜機

      2023年05月12日 16:14:29人氣:220來源:伯東企業(yè)(上海)有限公司

      某品牌 Sputtering + E-Beam PVD 鍍膜機系統(tǒng)采用 HVA 真空閥門 11000, HVA 真空閥門安裝在分子泵口便于泵的檢修,同時外系統(tǒng)停機時不破壞系統(tǒng)真空, 只要對泵內(nèi)部進行破真空即可.

      HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標準技術規(guī)格: 

       閥門材質(zhì):

       - 閥門主體

       304 不銹鋼

       - 焊接波紋管軸封

       AM - 350

       閥門密封方式

       - 高真空

       氟橡膠

       - 超高真空

       銅墊圈 / 氟橡膠

       真空:

       - 壓力范圍

       高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar

       - 漏率

       < 2x10-9  mbar l/S

       - 差壓關閉

       1 bar ( 任意位置 )

       - 開啟前zui大壓力

       ≤ 30 mbar

       烘烤溫度(不含電磁閥):

       - 彈性體密封閥蓋

       150°C

       - 金屬密封閥蓋

      -開啟溫度:200°C

      -關閉值:150°C

       - 驅(qū)動方式

       手動 60 °c, 氣動 60 °c

      機制

      手動:

      手搖曲柄

      電磁閥供電電壓

       120 VAC 50 /60 Hz

      電磁閥可選電壓

       24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
       或 12, 24 VDC

       電磁閥位置指示器,zui大

       115 VAC
       或 28 VDC, 20 mA

      氣動送風:

      80 psig

       使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實際使用情況決定)

       公稱通徑: DN 16 - 800 mm

        

      E-Beam 鍍膜機設備組成: 系統(tǒng)主要由蒸發(fā)室, 電子槍, 進樣室 (可選) , 旋轉(zhuǎn)基片加熱臺, 工作氣路, 抽氣系統(tǒng), 真空測量, 電控系統(tǒng)及安裝機臺等部分組成.

       

      基片在做實驗前一般需要做鍍前預處理, 鍍前預處理的目的是為了得到干凈新鮮的金屬表面, 為最后獲得高質(zhì)量鍍層作準備, 要進行脫脂, 去銹蝕, 去灰塵等工作, 也有客戶在 LOADLOCK 腔進行射頻反應清洗, 通過使用上海伯東 KRI 離子源將基片的表層打掉, 得到更光滑和均勻的表面.

       

      若您需要進一步的了解詳細產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡方式 :

      上海伯東 : 羅先生    

       

      關鍵詞:真空閥門
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