三坐標(biāo)檢測儀屬于精密測量儀器，采用空氣軸承導(dǎo)向，實(shí)現(xiàn)導(dǎo)軌間無摩擦和磨損,可以保持長期的性能均勻性。高壓氣體通過空氣軸承中細(xì)小的氣孔（如下圖紅圈位置）進(jìn)入工作面與導(dǎo)軌面之間,形成均勻的氣隙,空氣軸承的正常工作氣隙在3～10μm之間。因此在壓力正常的條件下,保證壓縮空氣的純凈度及導(dǎo)軌面的平面度是空氣軸承正常工作的關(guān)鍵。

　　氣是僅次于電力的第二大動力能源，其應(yīng)用范圍遍及各個行業(yè)。三坐標(biāo)檢測儀的正常運(yùn)轉(zhuǎn)離不開氣浮軸承，因此需要壓縮空氣。

　　壓縮空氣的質(zhì)量直接影響三坐標(biāo)檢測儀的正常工作及使用壽命，不理想的是氣源中含有相當(dāng)數(shù)量的雜質(zhì)，主要分為三類，即水,油和塵；，其中大約80%在尺寸上小于2μm，空壓機(jī)吸氣過濾器無力消除。此外，空壓機(jī)系統(tǒng)內(nèi)部也會不斷產(chǎn)生磨屑、銹渣和油的碳化物，它們將加速用氣設(shè)備的磨損，導(dǎo)致密封失效或堵塞。

　　大氣中相對濕度一般高達(dá)65%以上，經(jīng)壓縮冷凝后，即成為濕飽和空氣，并夾帶大量的液態(tài)水滴，它們是管道和閥門、三坐標(biāo)檢測儀等設(shè)備銹蝕的根本原因，冬天結(jié)冰還會阻塞氣動系統(tǒng)中的小孔通道。值得注意的是：即使是分離干凈的純飽和空氣，隨著溫度的降低，仍會有冷凝水析出，大約每降低10℃，其飽和含水量將下降50%，即有一半的水蒸氣轉(zhuǎn)化為液態(tài)水滴。

　　壓縮機(jī)類型分為活塞式，螺桿式；大部分空壓機(jī)是采用潤滑油來潤滑和冷卻其運(yùn)動部件（如螺桿、活塞等）的，但污染了壓縮空氣。在空壓機(jī)內(nèi)潤滑油與高溫的壓縮空氣直接接觸，壓縮空氣中的油污以“油滴”、“油霧(氣溶膠)”和“油蒸氣”三種形式存在。被從壓機(jī)內(nèi)帶到供氣系統(tǒng)中的油在任何情況下都沒有好處。