阿爾泰產(chǎn)品在無塵室環(huán)境中的應(yīng)用

概述

無塵室是半導(dǎo)體生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)施。不對生產(chǎn)過程進行嚴格的控制將產(chǎn)生有缺陷的芯片并且浪費寶貴的資源。對無塵室環(huán)境的監(jiān)控包括管理空氣過濾系統(tǒng)、控制系統(tǒng)以及監(jiān)測室內(nèi)的溫度、濕度、壓力、氣體成分和其它參數(shù)。為半導(dǎo)體制造商工作的現(xiàn)場工程師希望能夠連續(xù)簡單地使用無塵室環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)。這樣的系統(tǒng)應(yīng)該能夠收集數(shù)據(jù)進行分析，確保制造過程在可接受的參數(shù)下進行，從而防止問題的發(fā)生。系統(tǒng)應(yīng)該確保加工過程符合半導(dǎo)體工業(yè)標準 - 一個非常重要的因素。用DAM-3000 系列數(shù)據(jù)采集模塊構(gòu)成一個全面的無塵室監(jiān)測系統(tǒng)的核心。它們提供了一個經(jīng)濟的、易于實施的解決方案。 

系統(tǒng)要求

半導(dǎo)體制造商需要靈活、易于使用的系統(tǒng)。操作員需要獲取和分析整個工廠的信息，這些信息通過輪流查詢詢遍布工廠的遠程傳感器而得到。他們想將一個新的系統(tǒng)增加到現(xiàn)有的加工過程和設(shè)備中，而不干擾或修改已經(jīng)建設(shè)好的控制系統(tǒng)。自然地，制造商想要一個低成本的解決方案，并且在理想狀況下應(yīng)該是一個總監(jiān)管系統(tǒng)。 

阿爾泰解決方案

我們開發(fā)了一個基于 RS-485多點網(wǎng)絡(luò)的解決方案。為保護無塵室，系統(tǒng)必須有效可靠地監(jiān)視過濾器風(fēng)扇。DAM-3027 數(shù)字量輸入輸出模塊可以很好地執(zhí)行這項重要任務(wù)。DAM-3058 具有 8 路模擬量輸入處理能力，能夠地監(jiān)視空氣溫度、壓力和濕度，防止塵埃的增加。

風(fēng)淋室是為工作人員進出潔凈區(qū)所設(shè)置的通道，可以有效的降低外部人員進入潔凈區(qū)所帶來的污染問題，并同時起到氣閘室密閉潔凈室的作用。風(fēng)淋室通用性強，可與所有的潔凈室與潔凈廠房配套使用。使用DAM-3062模塊來控制風(fēng)淋室和貨料進入的門禁系統(tǒng)，防止外來人員的入內(nèi)，增加無塵室的塵埃，影響生產(chǎn)。DAM-3018來控制鼓風(fēng)機的運轉(zhuǎn)，一般的風(fēng)淋室的風(fēng)速要達到20m/s左右，普通的風(fēng)扇達不到這種要求，所以需要風(fēng)機來操作。

結(jié)論

集成系統(tǒng)能夠提供連續(xù)不斷的監(jiān)視。能夠?qū)?shù)據(jù)進行獨立的監(jiān)控。還可以大大減少設(shè)備管理人員，降低運作成本，方便客戶的使用，減少不必要的損失。 

軟件支持：
VC 、VB、C++Builder、Delphi、Labview 、LabWindows/CVI、組態(tài)軟件等語言的平臺驅(qū)動
簡易示例程序（了解板卡的工作流程，包括板卡的各種初始化設(shè)置，數(shù)據(jù)的讀?。?br />演示程序（包括波形顯示、連續(xù)不間斷大容量存盤、數(shù)據(jù)分析等功能）
工程級源代碼開放，可直接編譯通過。

備注：

我公司生產(chǎn)經(jīng)營：PXI數(shù)據(jù)采集卡，PCI數(shù)據(jù)采集卡，USB數(shù)據(jù)采集卡，PC104+數(shù)據(jù)采集卡，PC104數(shù)據(jù)采集卡，RS485總線采集模塊，以太網(wǎng)總線模塊，CAN總線模塊，GPRS無線采集傳輸，Zigbee無線采集傳輸，RTU采集模塊，運動控制卡，信號調(diào)理模塊，端子板，嵌入式主板，人機界面，工控機，PXI機箱，組態(tài)軟件……

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