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      如何減少高真空制造工藝中的釋氣

      2010年01月22日 10:25:08人氣:818來源:

      高真空或超高真空環(huán)境已被芯片制造商認(rèn)定為需要關(guān)注的潛在原因。在高真空環(huán)境中,控制真空室內(nèi)環(huán)境的均一性對于沉積過程的有效性具有關(guān)鍵作用,因?yàn)閺膹椥泽w密封中釋放出的氣體可以由基片吸收,并影響沉積過程。

      由于常用的ASTM(美國材料試驗(yàn)協(xié)會)或SEMI(半導(dǎo)體制程設(shè)備安全準(zhǔn)則)缺乏用來表征彈性體的釋氣性的標(biāo)準(zhǔn),DPE開發(fā)了適用在半導(dǎo)體制成中評估常用彈性體的釋氣性的測試設(shè)備和程序-三種常用的密封材料:氟橡膠(FKM),全氟醚橡膠(FFKM)和硅(VMQ)暴露于相同的真空條件下,然后比較結(jié)果。衡量的特征數(shù)據(jù)包括隨溫度變化的總釋氣率,在特定溫度下隨時(shí)間而變的總釋氣率,和釋出氣體種類的分析等。

      結(jié)果表明,全氟醚橡膠的釋氣率zui低,尤其在高溫下差別更明顯,但是由于混煉膠配方的差異,即使是同種彈性體的不同混煉膠,釋氣性也會不一樣。 DPE的測試結(jié)果將幫助設(shè)備與工藝工程師表征彈性體密封中的釋氣量,而更重要的是,能幫助他們選擇低釋氣率的彈性體材料
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