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微差壓傳感器是一種用于測(cè)量爐內(nèi)壓等微小差壓和表壓然后轉(zhuǎn)變成4～20mADC信號(hào)輸出的一種儀器。它的核心部件是一個(gè)電容式壓力敏感元件，由不銹鋼膜片與固定電極構(gòu)成一個(gè)電容，其值隨壓力變化而變。
微差壓傳感器被測(cè)介質(zhì)的兩種壓力通入高、低兩壓力室，作用在δ元件(即敏感元件)的兩側(cè)隔離膜片上，通過隔離片和元件內(nèi)的填充液傳送到測(cè)量膜片兩側(cè)。測(cè)量膜片與兩側(cè)絕緣片上的電極各組成一個(gè)電容器。當(dāng)兩側(cè)壓力不一致時(shí)，致使測(cè)量膜片產(chǎn)生位移，其位移量和壓力差成正比，故兩側(cè)電容量就不等，通過振蕩和解調(diào)環(huán)節(jié)，轉(zhuǎn)換成與壓力成正比的信號(hào)。
微差壓傳感器的特點(diǎn)是超靈敏度和穩(wěn)定的偏移量。該芯片基于熱式氣體流量測(cè)量并內(nèi)置了一個(gè)微流體通路。這個(gè)非常狹窄的微流體通路降低了流進(jìn)氣體的流速。極低的氣體流速保證了傳感器連接管路和濾器后不必重新校正。
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