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      漢鐘IPH系列半導(dǎo)體專用真空泵

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      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地上海

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      更新時(shí)間:2023-12-27 11:27:39瀏覽次數(shù):206次

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      產(chǎn)品簡介

      用途: Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD 特點(diǎn): IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域提供優(yōu)良的性能,適用于嚴(yán)苛制程。 它優(yōu)良的性能源自于轉(zhuǎn)子排氣路徑和*的轉(zhuǎn)子型線設(shè)計(jì)。 漢鐘型線設(shè)計(jì),上海,中國臺(tái)灣,制造。 較之前的版本節(jié)能25%,配置有省電模式。 帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積。 優(yōu)化的尺......

      詳細(xì)介紹

      用途: Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD 特點(diǎn): IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域提供優(yōu)良的性能,適用于嚴(yán)苛制程。 它優(yōu)良的性能源自于轉(zhuǎn)子排氣路徑和*的轉(zhuǎn)子型線設(shè)計(jì)。 漢鐘型線設(shè)計(jì),上海,中國臺(tái)灣,制造。 較之前的版本節(jié)能25%,配置有省電模式。 帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積。 優(yōu)化的尺寸,即插即用。

      關(guān)鍵詞:螺桿真空泵
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