大型液晶玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人
負(fù)載：50KG
動(dòng)態(tài)范圍：1675mm
控制柜：DX100
用途：搬運(yùn)、潔凈室

特點(diǎn)

l 適用于第6代（1500*1850mm）超大型液晶玻璃基板的高速搬運(yùn)。

l 利用長(zhǎng)距離上下屈伸、低pass line以及雙手臂的特性，實(shí)現(xiàn)潔凈室內(nèi)多層液晶玻璃基板箱體內(nèi)的高速搬運(yùn)。

*1：依據(jù)JIS B8432標(biāo)準(zhǔn)
*2：潔凈度依據(jù)ISO-14644標(biāo)準(zhǔn)。在0.4m/s以上的向下流風(fēng)速環(huán)境下，來(lái)確保工件搬運(yùn)面以上潔凈度。
*3：根據(jù)用途、作業(yè)形式會(huì)有所不同。