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      上海雋思實驗儀器有限公司


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      等離子去膠機,等離子表面處理機

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      更新時間:2023-03-14 15:27:47瀏覽次數:268次

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      產品簡介

      離子去膠機,等離子表面處理機簡介等離子去膠機的真空腔采用石英管結構,適于對基片進行去膠、清洗等工藝

      詳細介紹

      離子去膠機,等離子表面處理機簡介
         等離子去膠機的真空腔采用石英管結構,適于對基片進行去膠、清洗等工藝。該設備具有去膠工藝簡單、可靠、、速率快、成品率高、處 理后無酸氣廢水等殘留等特點。等離子表面處理機采用國頻源,其電磁兼容性能優(yōu)良、高頻輻射小,符合國家環(huán)保規(guī)定。本機外形美觀大方,操作簡便。
      等離子去膠機,等離子表面處理機主要配置及技術指標:
        l、電源:單相220V 50Hz,2KW
        2、射頻源:國產, f=13.56MHz 50~500W連續(xù)可調,全自動匹配
        3、氣體控制:氧氣和氮氣氣兩路,美國進口浮子流量計控制
        4、真空獲得方式:2L機械泵
        5、真空度:優(yōu)于-100KPa
        6、氣體流量:0~5L/min
        7、真空腔:石英腔。尺寸:¢200X300mm
        8、產能:每次20片(2"-4")
        9、觸摸屏+PLC控制
        l0、控制方式:自動/手動,自動模式下可實現一鍵完成整個工藝過程
        l1、整機采用松下plc和觸摸屏控制
        12、反射自動匹配
        a、負荷電流:10ARMS
        b、負荷電壓:200VRMS
        c傳輸效率:>90%
        d、匹配時間:3~5s
        e、可匹配阻抗實部范圍:1~500Ω
        f、可匹配阻抗虛部范圍:-j200~+j200
        g、主電容:空氣電容

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