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      廣州智匯科學(xué)儀器有限公司


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      GVC-1200離子濺射儀

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      更新時(shí)間:2022-10-13 12:56:11瀏覽次數(shù):189次

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      GVC-1200離子濺射儀 易于使用的基本濺射涂布機(jī); 設(shè)備內(nèi)置操作向?qū)В诓僮魅藛T更換時(shí),無(wú)需培訓(xùn),即可快速熟練操作設(shè)備; 實(shí)體按鍵,安全。

      詳細(xì)介紹



      直流濺射工作原理

      1.低氣壓下(一定的真空度)氣體的輝光放電現(xiàn)象:

      2. 靶材接高壓,本設(shè)備為-2400V,為負(fù)極;樣品臺(tái)接地,為正極;

      3. 靶材與樣品臺(tái)之間形成電場(chǎng),電離氣體,可用空氣、Ar、N2;

      4.氣體電離后,正離子飛向負(fù)極,轟擊靶材,靶材原子被濺射飛出,沉積到樣品上形成導(dǎo)電膜;

      5.電子或負(fù)離子在電場(chǎng)的作用下,飛向樣品臺(tái),會(huì)加熱樣品,濺射電流10mA,濺射時(shí)間1分鐘,樣品臺(tái)溫度約為60℃

       

      工作特點(diǎn):濺射電流隨壓力變化,壓力升高,濺射電流才能增加;

                壓力升高、電流變大、濺射顆粒變大,熱損傷隨之加劇。

       

      應(yīng)用領(lǐng)域:非熱敏性樣品,如無(wú)機(jī)鹽類粉體等,性價(jià)比較高

                       適用于普通鎢燈絲掃描電鏡、臺(tái)式電鏡等




      GVC-1000/1200離子濺射儀

      金靶

      顆粒尺寸20~50nm


      產(chǎn)品特點(diǎn):

      一、安全

      1高壓線多重防護(hù),外加8×5透明真空管,安全;

      2.外殼良好接地;

      3.真空互鎖;

      4.電流>50mA,真空度超過(guò)100Pa,系統(tǒng)自動(dòng)切斷濺射;

      5.實(shí)體按鍵,安全;

      6.濺射頭采用阻尼設(shè)計(jì),任意位置懸停

      二、信息量大

      1.濺射過(guò)程中真空度和濺射電流以曲線方式實(shí)時(shí)顯示,簡(jiǎn)單直觀;

      2.靶材使用時(shí)間,儀器使用時(shí)間系統(tǒng)自動(dòng)記錄,直觀了解設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)。

      三、快速上手

             設(shè)備內(nèi)置操作向?qū)В诓僮魅藛T更換時(shí),無(wú)需培訓(xùn),即可快速熟練操作設(shè)備。


       









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