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      河南成儀設(shè)備科技有限公司


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      CZ晶體生長(zhǎng)爐

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      參  考  價(jià)面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號(hào)

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地鄭州市

      聯(lián)系方式:經(jīng)理查看聯(lián)系方式

      更新時(shí)間:2023-09-11 11:50:27瀏覽次數(shù):165次

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      經(jīng)營(yíng)模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:70條

      所在地區(qū):河南鄭州市

      聯(lián)系人:經(jīng)理

      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      CZ晶體生長(zhǎng)爐

      詳細(xì)介紹

      產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

      直拉法晶體生長(zhǎng)爐,可針對(duì)于高純度活潑材料的晶體生長(zhǎng)實(shí)驗(yàn)探索,也可以適用于晶體材料的生產(chǎn);此款晶體生長(zhǎng)爐可以提拉各種氧化物單晶和金屬單晶,如藍(lán)寶石、 GGG, YAG, LaAlO3 , Si 和 Ge 等,溫度可達(dá) 2100℃ (石墨坩堝)。此系統(tǒng)采用組成:高頻感應(yīng)加熱電源,高真空腔體,石墨坩堝、或者氮化硼坩堝、精密提拉機(jī)構(gòu)和坩堝旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。

       

      二、主要技術(shù)參數(shù)

       

      作電源

      AC 380V,三相,20KW

      感應(yīng)射頻

      30-80KHz

      熔煉溫

      1650℃

       

       

      真空系統(tǒng)(選配)

      配置一:10-2torr (機(jī)械泵)

      1.型號(hào):VRD-24

      2.抽氣口接口尺寸:KF25

      3.抽氣速率:(24m3/h) 6.6L/S

      4.電機(jī)功率:750W

      5.極限壓強(qiáng) 4×10-2Pa

      配置二:10-5torr  (機(jī)械泵+分子泵)

      1.抽氣速率:620L/s

      2.極限壓強(qiáng):6×10-5Pa

      3.啟動(dòng)時(shí)間:≤8min

      4.額定轉(zhuǎn)速:27000rpm/min

      5.冷卻方式:水冷

      6.抽氣口接口尺寸:LF160

       

       

       

       

       

      空腔室

       

       

      1.采用 SS304 不銹鋼腔體雙層水冷腔體,確保設(shè)備工作室表面溫度 70℃,

      2.體尺寸:  φ400*400mm臥式結(jié)構(gòu)

      3.腔門上有一個(gè)50*150mm 的方形觀察窗口,方便晶體生長(zhǎng)過程中實(shí) 時(shí)觀察樣品的熔化和生長(zhǎng)情況;

      4.腔體上部安裝了一個(gè)量程為-0.1-0.15MPa 的機(jī)械壓力表用于室內(nèi)壓力情況

      5.一個(gè) φ6 雙卡套接頭做為出氣口,并通過一個(gè)不銹鋼針閥控制氣的通斷

      6.個(gè)電磁閥可自動(dòng)控制進(jìn)氣

      7.安裝了一個(gè)安全壓閥,當(dāng)腔室中壓力大于一定值時(shí)將自動(dòng)泄壓, 保腔體的安全

       

      提拉機(jī)構(gòu)

      1.提拉采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)采用直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)

      2.提拉速度:0.01-30mm/h

      3.晶桿旋轉(zhuǎn)速度:0.1-60 rpm

      4.提拉行程:200mm

      5.位移精度:0.01mm

      6.提拉分為快速和慢速

      坩堝旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)

      1.直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)

      2.旋轉(zhuǎn)速度:1-30 rpm

       

      控制系統(tǒng)

      1.整個(gè)電路控制系統(tǒng)在觸摸屏上面實(shí)現(xiàn)操作控制,采用控制軟件進(jìn)行控制,可以實(shí)現(xiàn)以下功能:

      2.生長(zhǎng)斜率及控制參數(shù)設(shè)定;

      3.控制晶升,動(dòng)態(tài)可調(diào)

      4.控制晶轉(zhuǎn),可設(shè)定多段速自動(dòng)執(zhí)行

      5.腔體真空壓力檢測(cè)

      6.報(bào)警監(jiān)測(cè),晶升晶轉(zhuǎn)中頻氣壓等上限報(bào)警

      7.實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)曲線

      8.數(shù)據(jù)記錄, 自動(dòng)存儲(chǔ)運(yùn)行數(shù)據(jù)

       

      水冷系統(tǒng)(選配)

      1.工作電流:2.1-12.9A

      2.制冷量:49474Btu/h

      3.流量:117L/min

      4.水箱容量:75L

      坩堝系統(tǒng)(選配)

      1.可選石墨坩堝或者氮化硼坩堝和相應(yīng)的保溫材料組件

      此單晶爐的坩堝尺寸分為D50*H50mm和D80*H80mm

      變壓器(選配)

      可根據(jù)客戶所在地的電壓選配變壓器,如480V變380V,415V變380V等

      產(chǎn)品尺寸(參考)

      1.設(shè)備主機(jī):~1480mm(L)  x 1150mm(W) x 2450mm(H)

      2.冷水機(jī):~800mm(L)  x 800mm(W) x 1200mm(H)

      3.變壓器:~1050(L)  x 800mm(W) x 1200mm(H)

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