用途:
　　 本司自行設(shè)計(jì)、制作的XQ60-GⅠ型便攜式激光平面干涉儀近期己達(dá)到批量生產(chǎn)能力。儀器采用小型便攜化設(shè)計(jì)，使用多攝像模組實(shí)現(xiàn)了對瞄準(zhǔn)、測量、放大等要求的顯示器觀測，切換簡單，實(shí)用性強(qiáng)。。投放市場后可以限度地減輕了操作人員的工作強(qiáng)度;更適用于大批量生產(chǎn)的檢驗(yàn);配以計(jì)算機(jī)可直接將被檢測鏡面的原始資料通過計(jì)算機(jī)保存和傳輸,以達(dá)到資料存檔及遠(yuǎn)程監(jiān)控、驗(yàn)收評定質(zhì)量的目的,是國產(chǎn)激光平面干涉儀產(chǎn)業(yè)新的發(fā)展。

技術(shù)參數(shù):

• 標(biāo)準(zhǔn)平面(A面),工作直徑D1=Φ60mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

• 第二標(biāo)準(zhǔn)平面(B面),工作直徑D1=Φ60mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

• 準(zhǔn)直系統(tǒng) ——————————————— 工作直徑Φ60mm,焦距f=200mm