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用上EUV光刻機(jī)，SK海力士宣布明年量產(chǎn)第四代內(nèi)存

2020-10-31 09:02:48來(lái)源：快科技關(guān)鍵詞：SK海力士光刻機(jī)芯片閱讀量：24160

導(dǎo)讀：ASML公司的EUV光刻機(jī)獨(dú)一份，現(xiàn)在主要是用在7nm及以下的邏輯工藝上，臺(tái)積電、三星用它生產(chǎn)CPU、GPU等芯片。馬上內(nèi)存芯片也要跟進(jìn)了，SK海力士宣布明年底量產(chǎn)EUV工藝內(nèi)存。

　　ASML公司的EUV光刻機(jī)獨(dú)一份，現(xiàn)在主要是用在7nm及以下的邏輯工藝上，臺(tái)積電、三星用它生產(chǎn)CPU、GPU等芯片。馬上內(nèi)存芯片也要跟進(jìn)了，SK海力士宣布明年底量產(chǎn)EUV工藝內(nèi)存。

　　據(jù)報(bào)道，SK海力士總裁李石熙日前表示，該公司計(jì)劃將于明年下半年開(kāi)始在利川廠區(qū)M16采用EUV光刻機(jī)生產(chǎn)第四代(1a nm)DRAM產(chǎn)品。

　　李石熙表示M16工廠將于今年底建成，明年上半年開(kāi)始引入制造設(shè)備，目前實(shí)驗(yàn)室正在進(jìn)行準(zhǔn)備工作，預(yù)計(jì)明年開(kāi)始量產(chǎn)。

　　對(duì)內(nèi)存來(lái)說(shuō)，它跟CPU邏輯工藝一樣面臨著需要微縮的問(wèn)題，EUV光刻機(jī)可以減少多重曝光工藝，提供工藝精度，從而可以減少生產(chǎn)時(shí)間、降低成本，并提高性能。

　　當(dāng)然，上EUV工藝的代價(jià)也不是沒(méi)有，EUV光刻機(jī)單價(jià)10億元以上，產(chǎn)量還是不如傳統(tǒng)DUV光刻機(jī)，意味著初期成本會(huì)比較高。

　　在SK海力士之前，三星也宣布使用EUV工藝生產(chǎn)內(nèi)存，前不久發(fā)布的16Gb容量LPDDR5內(nèi)存已經(jīng)用上了，帶寬速度為6400Mbps(等價(jià)6400MHz)，比現(xiàn)款12Gb LPDDR5-5500快了16%。

　　在16GB的總?cè)萘肯拢试S一秒內(nèi)傳輸10部5GB高清電影(51.2GB)。

　　三大內(nèi)存原廠中，只有美光對(duì)EUV工藝不太熱心，不過(guò)隨著前兩大廠商上馬EUV工藝，美光后續(xù)的想法或許也會(huì)改變了。

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