真空模組
真空模組,可在10-7PA的真空環(huán)境下運行,耐溫達200℃,真空模組的設(shè)計首要考慮機構(gòu)和材料。此系列產(chǎn)品大部分組件采用不銹鋼加工或熱膨脹系數(shù)相當?shù)牟⑶页鰵饴实偷牟牧?。此系列產(chǎn)品主要應(yīng)用于真空室。高溫室,高潔凈度環(huán)境。
特點:
一體化設(shè)計,可靠易用
標準化設(shè)計制造60,90,,10三種規(guī)格,可定制其他規(guī)格
工作環(huán)境溫度-196℃至200℃
適用真空度10-7PA
模塊化設(shè)計
免維護設(shè)計
承載,導向,驅(qū)動一體
高承載,高精度,高速度
簡單易用,可靠性高,以保證高效率