等離子表面處理是通過(guò)對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體。等離子體的“活性”組成包括:離子、電子、原子、活性基因等。等離子處理就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
寬幅等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為四大組成部分:高壓激勵(lì)電源、線性等離子發(fā)生裝置、氣體輸送系統(tǒng)、控制系統(tǒng)。
(A)高壓激勵(lì)電源:采用射頻電源(13.56MHz)進(jìn)行激勵(lì),保障等離子體均勻,處理過(guò)程穩(wěn)定。參數(shù)根據(jù)樣品實(shí)際情況可進(jìn)行調(diào)節(jié),已達(dá)到的改性效果。
(B)線性等離子發(fā)生裝置:采用的等離子發(fā)生結(jié)構(gòu),常規(guī)處理溫度<35℃,均勻穩(wěn)定,提高和保證設(shè)備的使用壽命和性能。
(C)氣體輸送系統(tǒng):搭配Ar和與O?兩路氣體,根據(jù)清洗材質(zhì)的不同,搭配不同氣體。
(D)控制系統(tǒng):控制系統(tǒng)作用在于控制整個(gè)寬幅射頻等離子清洗設(shè)備的運(yùn)行,以及整體系統(tǒng)的保護(hù)。


技術(shù)要求①:采用射頻電源,使用載具循環(huán)模式,避免排線處理時(shí)氣流過(guò)大,容易出現(xiàn)折斷,并且需同時(shí)滿足產(chǎn)能。
技術(shù)要求②:搭配水冷工藝及工藝氣體配方,達(dá)到處理均勻高效,處理溫度低不對(duì)產(chǎn)品造成影響。
技術(shù)要求③:采用前放后取方式,配備2種可選模式程序,全面的報(bào)警功能,可對(duì)接工廠流水線。

均勻度
噴槍
穩(wěn)定激勵(lì)電源
軟件
長(zhǎng)期穩(wěn)定保障
全面安全防護(hù)
搭配流水線生產(chǎn)

SPK-800S寬幅射頻等離子清洗機(jī)
臺(tái)800mm超長(zhǎng)處理寬度,單位面積處理時(shí)間提升3倍

SPK-280Z寬幅中頻等離子清洗機(jī)
線性等離子發(fā)生裝置適用于各種狹窄空間,可根據(jù)產(chǎn)品的寬度進(jìn)行定制,實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)作業(yè)

SPK-410Z寬幅中頻等離子清洗機(jī)
采用晟鼎中頻數(shù)字電源,確保等離子體均勻,處理過(guò)程穩(wěn)定

SPA-5800大氣等離子清洗機(jī)
支持?jǐn)?shù)字通信接口和模擬通信接口,可對(duì)接MES系統(tǒng)

SPV-100真空等離子清洗機(jī)
超低處理溫度45℃,不造成熱影響,確保穩(wěn)定的處理效果
設(shè)備尺寸 | 1800*1107*1675mm(長(zhǎng)*寬*高) |
重量 | 280KG |
需求電源 | AC 220V/50Hz 單相2.5KW |
電源功率 | 0-1000W可調(diào)(建議0-450W) |
電源頻率 | 13.56MHz |
匹配器 | 全自動(dòng)真空電容匹配器 |
處理寬幅 | 500mm |
槍頭尺寸 | 570*90*74mm(長(zhǎng)*寬*高) |
重量 | 10KG |
槍頭可調(diào)節(jié)高度 | 0-10mm(調(diào)節(jié)精度±0.3) |
常用處理高度 | 1-5mm以內(nèi) |
槍頭冷卻范圍 | 25-35℃ |
使用氣體 | Ar和O2兩路氣體 |
Ar氣體調(diào)節(jié)范圍 | ≤50L/min |
O2氣體調(diào)節(jié)范圍 | ≤50SCCM |
流水線速度 | 0-100mm/s可調(diào) |
傳送皮帶 | 1.8米 |
皮帶材質(zhì) | 防滑PU |
感應(yīng)系統(tǒng) | 氣壓報(bào)警、功率報(bào)警 |
報(bào)警 | 具備聲光報(bào)警功能 |