激光退火制冷機

激光退火是指利用激光加熱材料表面，將材料曝露于高溫一段時間后，再慢慢冷卻的熱處理制程。激光退火制冷機則是為了在激光退火過程中實現(xiàn)精確控溫和冷卻的設備。

激光退火制冷機

主要特點包括：

1. 高效制冷：能夠快速降低激光退火過程中的材料溫度，確保退火過程的穩(wěn)定性和可控性。

2. 精確控溫：能夠根據(jù)退火工藝的需求精確控制溫度，實現(xiàn)精細的溫度梯度控制，有利于材料的微觀結構和性能的調控。

3. 可靠的穩(wěn)定性：采用優(yōu)質的材料和零部件，保證長期使用過程中性能穩(wěn)定可靠。

4. 節(jié)能環(huán)保：降低能耗，符合綠色制造的要求。

5. 易于操作和維護：設備結構簡單，操作方便，同時易于維護和保養(yǎng)，降低使用成本。

溫控精度（空載時）±0.05℃

觸摸屏操作，人機交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能

溫度波動小

占地面積小、保護裝置

快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運營成本和保障生產(chǎn)

運行穩(wěn)定、準確控溫

半導體冷熱測試一體機Chiller循環(huán)制冷機

應用領域

應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置，CMP （工藝機械拋光）實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等