產(chǎn)品信息：

S1000放大倍率標(biāo)準(zhǔn)樣品-掃描電鏡

 該標(biāo)樣用于掃描電鏡（包括電子探針等）儀器主要性能的校驗(yàn)和檢驗(yàn)，如圖像的放大倍率檢驗(yàn)與調(diào)整、掃描圖像畸變的調(diào)整、像散調(diào)節(jié)以及樣品臺的復(fù)位檢驗(yàn)等，是掃描電鏡儀器驗(yàn)收、儀器年度檢驗(yàn)、計(jì)量認(rèn)證、實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可等考核中，都需要的標(biāo)準(zhǔn)樣品。同時(shí)，該標(biāo)準(zhǔn)樣品也是掃描電鏡微米納米長度精確測量的標(biāo)準(zhǔn)樣品、是微米長度測量的高可溯源級別的量值傳遞工具。是多個(gè)國家標(biāo)準(zhǔn)文件GB/T 27788、16594、17722、20307、JJF1916等實(shí)施所必需的標(biāo)準(zhǔn)樣品。

S1000放大倍率標(biāo)準(zhǔn)樣品-掃描電鏡

標(biāo)準(zhǔn)樣品的均勻性：
本系列標(biāo)準(zhǔn)樣品的片內(nèi)線距均勻性由德國聯(lián)邦物理研究所(PTB)使用一臺大范圍計(jì)量型掃描力顯微鏡( M-LRSFM進(jìn)行測量，40μm、20μm、10μm和5μm的線距結(jié)構(gòu)的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為<0.15%、<0.25%、<0.3%、<0.5%和<1%；片間線距的均勻性送國家有色金屬及電子材料分析測試中心掃描電鏡實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行檢查，隨機(jī)取10個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品，在相同掃描電鏡工作條件下獲取每個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品上每種線距結(jié)構(gòu)的圖像，在每個(gè)圖像上的不同位置取若干個(gè)線距周期測量4個(gè)長度數(shù)據(jù)，

其測量結(jié)果標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為：<0.39%、<0.19%、<0.21%和<0.19%
標(biāo)準(zhǔn)值和置信限：

本系列標(biāo)準(zhǔn)樣品的線距值由德國聯(lián)邦物理研究所(PTB)使用一臺大范圍計(jì)量型掃描力顯微鏡(M- LRSFM)進(jìn)行測量，測量結(jié)果可直接溯源至米定義計(jì)量基準(zhǔn)。各線距結(jié)構(gòu)的測量值分別為：40000.6±4.2nm(X方向)、40001.8±4.2nm(Y方向)、20000.4±1.8nm(X方向)、20000.0±1.8nm(Y方向)、10000.2±0.5mm(X方向)、10000.0±0.5mm(Y方向)、5000.0±0.6mm(X方向)、5000.3±0.6mm(Y方向)、1000.4±0.7nm(X方向)、1000.4±0.7mm(Y方向)，置信限為95%，k=2。

測試使用計(jì)量基準(zhǔn)裝置主要儀器：計(jì)量型掃描電子顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)裝置

測量范圍：線間隔結(jié)構(gòu)（0~50）μm

不確定度/準(zhǔn)確度等級：Ｕ=（1+2×10-3*p）nm，k=2（Ｐ-nm）

用途：
(1)可用于同時(shí)對任意兩個(gè)垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正，是校準(zhǔn)從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品
(2)可用于對圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進(jìn)行校驗(yàn)，是評價(jià)掃描電鏡圖像質(zhì)量的個(gè)重要工具
(3)可直接用于同一量級物體長度的精確比對測量
(4)對樣品臺傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗(yàn)也有較好的作用
(5)利用標(biāo)樣上的“點(diǎn)子”圖像，可對電子束作漂移檢驗(yàn)和樣品臺復(fù)位檢驗(yàn)

標(biāo)準(zhǔn)樣品的形狀、規(guī)格和包裝：
S1000微米一亞微米級系列標(biāo)樣，總體為5mm×5mm×0.5mm(長×寬×厚)大小的小方塊。主體圖形為一個(gè)“回”字形的方框，最外框邊長約為2mm,內(nèi)框的邊長約為12mm,內(nèi)框里面用X、Y軸分為4個(gè)象限，X、Y軸上制作有垂直坐標(biāo)軸方向的線距20μm的短平行線條，4個(gè)象限上分別是線距為40μm、20μm、10μm的方格網(wǎng)狀圖形和線距為5μm的X、Y雙向平行線條圖形，內(nèi)框的中部又是“回”字形的方框，大框的邊長約為160m,小框邊長約50μm,大框和小框之間在X方向和Y方向上都有線距為5μm的平行線條，小框里面是線距為1μm或0.5μm的X、Y雙向平行線條圖形(見圖1)，在5m和1μm或0.5μm的線距結(jié)構(gòu)上還有一些十字形和圓點(diǎn)，可用于在較大放大倍率下圖像的聚集和像散調(diào)整，不同的線距大小可用于從10×~10000放大倍率范圍的校準(zhǔn)，而把40μm、20μm和10μm的線距結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)成方格形，是為了在對放大倍率進(jìn)行準(zhǔn)確校準(zhǔn)的同時(shí)，可以對圖像的畸變、像散等進(jìn)行校驗(yàn)，5μm的線距結(jié)構(gòu)也同時(shí)具有X、Y兩個(gè)方向的平行線條，是為了方便同時(shí)對X、Y兩個(gè)方向進(jìn)行放大倍的準(zhǔn)而不必機(jī)械旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)器。