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當(dāng)測(cè)針接觸到工件時(shí)，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)接收的的坐標(biāo)值應(yīng)是紅寶石球頭中心點(diǎn)坐標(biāo)，顯然，測(cè)量軟件將自動(dòng)沿著測(cè)針從接觸點(diǎn)回退的方向加上一個(gè)測(cè)球半徑值作為測(cè)量值。但該測(cè)量值是一個(gè)與測(cè)頭的機(jī)械慣性有關(guān)的動(dòng)態(tài)值。實(shí)際上，測(cè)量作為一個(gè)動(dòng)態(tài)過(guò)程，其測(cè)量值應(yīng)該考慮到從測(cè)頭采點(diǎn)到實(shí)際向系統(tǒng)傳送該點(diǎn)坐標(biāo)值時(shí)發(fā)生的機(jī)器空間移動(dòng)距離。盡管這個(gè)距離極小，但對(duì)系統(tǒng)計(jì)算動(dòng)態(tài)尺寸有一定影響。
      在實(shí)際測(cè)量時(shí)，每測(cè)量一個(gè)元素，系統(tǒng)都可以自動(dòng)區(qū)分測(cè)球半徑的補(bǔ)償方向，計(jì)算正確的補(bǔ)償半徑。在采點(diǎn)開始后，測(cè)量軟件將在沿著測(cè)針接觸工件的方向上對(duì)測(cè)球進(jìn)行半徑補(bǔ)償。但被補(bǔ)償點(diǎn)并非真正的接觸點(diǎn)，而是測(cè)頭沿著測(cè)針接觸工件方向的延長(zhǎng)線上的一個(gè)點(diǎn)。這樣就造成了補(bǔ)償誤差，產(chǎn)生誤差的大小與測(cè)球的半徑及該工件被測(cè)面與笛卡爾坐標(biāo)軸的夾角有關(guān)，夾角越大，誤差越大。
      ①測(cè)球半徑r對(duì)補(bǔ)償誤差的影響
      補(bǔ)償誤差δ與測(cè)球半徑r成正比關(guān)系，即測(cè)球半徑r越小，補(bǔ)償誤差δ也越小。因此當(dāng)用三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)進(jìn)行點(diǎn)位測(cè)量時(shí)，應(yīng)選用盡可能小的測(cè)球。
      ②測(cè)針軸線與被測(cè)表面法線間的夾角α對(duì)補(bǔ)償誤差的影響。
      當(dāng)測(cè)針軸線與被測(cè)表面法線間的夾角α等于0時(shí)，測(cè)球半徑補(bǔ)償誤差δ也為0。因此，測(cè)量時(shí)要盡可能使測(cè)針軸線與被測(cè)表面垂直，使測(cè)頭沿著被測(cè)表面的法線方向移動(dòng)，以zui大限度地減小測(cè)球半徑補(bǔ)償誤差。在用三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量點(diǎn)元素時(shí)，測(cè)量軟件在自動(dòng)補(bǔ)償測(cè)球半徑過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)測(cè)球半徑補(bǔ)償誤差。通過(guò)運(yùn)用參考坐標(biāo)系找正工件或用CNC模式進(jìn)行測(cè)量，使測(cè)頭沿著被測(cè)表面的法線方向移動(dòng)采集點(diǎn)的坐標(biāo)，可以盡量減小測(cè)球半徑補(bǔ)償誤差，正確進(jìn)行測(cè)球半徑補(bǔ)償，提高測(cè)量精度.