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高濃度、高精度臭氧分析儀



本產品是同類產品中的高度高臭氧分析儀，它目前主要用于半導體、芯片、CVD，ALD等領域。由于它優(yōu)異的，使得它成為那些需要長時期、高穩(wěn)定地提供連續(xù)測量和工藝控制的客戶的正確選擇，長期使用的所有者成本低。是監(jiān)測氣體發(fā)生設備、氣柜、氣體輸送系統以及半導體設備的臭氧濃度的理想選擇。也可用于環(huán)境監(jiān)測、職業(yè)衛(wèi)生和科學研究。

主要特點：
微機控制 · 紫外吸收
可訂購多達5個取樣點 壓力和溫度補償能力
內置現場編程，可編次序 · 定光學系統
每通道4-20mA隔離輸出 · 每通道雙報警



主要規(guī)格

取樣點數量：1，3或5個內置式多通道閥
量程：0-1ppm，0-10ppm，0-100ppm, 或 0-1000ppm可選。

精度等級：5ppb（0-1ppm量程），0.01ppm（0-10ppm量程），0.1ppm（0-100ppm量程），

分辨率高：0.001ppm（0-1PPM），0.01ppm（0-10PPM）
流量：內置泵，流量可調（不大于2L/m）
輸出：模擬4～20mA，以及數字輸出
CE；內部自；RS-232通訊接口


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