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三英精控(天津)儀器設(shè)備有限公司
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所 在 地天津市
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更新時間:2024-08-06 14:20:19瀏覽次數(shù):51次
聯(lián)系我時,請告知來自 智能制造網(wǎng)典型應(yīng)用:對焦、白光干涉、探針校準(zhǔn)、表面掃描、物鏡調(diào)整、光學(xué)移相
典型應(yīng)用:對焦、白光干涉、探針校準(zhǔn)、表面掃描、物鏡調(diào)整、光學(xué)移相。
納米位移系統(tǒng)的應(yīng)用越來越廣泛,從原子力顯微鏡、精密光學(xué)設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備到各種行業(yè)。納米位移系統(tǒng)能夠產(chǎn)生和測量優(yōu)于納米(nm)的位移,整個系統(tǒng)包含3部分:納米位移臺、控制器和控制軟件。
納米位移臺是一種機(jī)械裝置,內(nèi)部有一個或多個壓電陶瓷,由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運動。三英設(shè)計和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈將技術(shù)將運動裝置連接到固定基座上。納米位移臺內(nèi)置精密傳感器,閉環(huán)控制時,三英的傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下,可以實現(xiàn)納米級別、亞納米級別的分辨率。
控制器為納米位移臺提供電源。在閉環(huán)控制時,納米位移臺內(nèi)部的傳感器為控制器提供位移數(shù)據(jù)??刂破髦芷谛缘奶幚砦灰茢?shù)據(jù)并修正輸出電壓信號,從而使位移數(shù)據(jù)與指令數(shù)據(jù)相同。
三英提供簡單易用的軟件。納米位移系統(tǒng)通常作為大型設(shè)備的一個部件,因而納米位移系統(tǒng)與其他硬件良好配合是相當(dāng)重要的。三英控制器對外通信方式有多種,常用的方式是通過BNC模擬信號(-10V~10V)控制納米位移臺的位移。還可以通過USB接口和數(shù)字IO實現(xiàn)與控制器的通信。三英控制器內(nèi)部軟件實現(xiàn)了基于PID算法、陷波濾波器的閉環(huán)控制,內(nèi)部集成了正弦波、方波和三角波的波形發(fā)生器。
如有客戶需求,三英可以對納米位移運動控制系統(tǒng)進(jìn)行量身定制,以提供及時、滿意的技術(shù)支持與服務(wù)。
型號 | NS-ZRxy-01 |
運動軸 | Z/θx/θy |
開環(huán)行程 | Z=25μm/θx=θy=±230μrad; |
開環(huán)分辨率 | 0.2nm/0.1μrad/0.1μrad |
響應(yīng)頻率(空載)( Hz ) | 823 |
響應(yīng)頻率(負(fù)載200g) ( Hz ) | 247 |
剛性( N/μm ) | 8.2 |
負(fù)載( kg ) | 10 |
端口 | D-sub15 |
線纜最小彎曲半徑( mm ) | >15 |
材料 | 航空鋁 |
尺寸( mm ) | Φ158×42.3 |
自量( kg ) | 1.24 |
適配控制器 | SC100-2B |
注:閉環(huán)分辨率與帶寬有關(guān)。
NS-ZRXY-01尺寸圖
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