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三英精控（天津）儀器設備有限公司
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典型應用：顯微成像、激光加工、光學測量、表面檢測、半導體加工
典型應用：顯微成像、激光加工、光學測量、表面檢測、半導體加工。
納米位移系統(tǒng)的應用越來越廣泛，從原子力顯微鏡、精密光學設備、半導體設備到各種行業(yè)。納米位移系統(tǒng)能夠產生和測量優(yōu)于納米（nm）的位移，整個系統(tǒng)包含3部分：納米位移臺、控制器和控制軟件。
納米位移臺是一種機械裝置，內部有一個或多個壓電陶瓷，由壓電陶瓷產生單軸或者多軸的運動。三英設計和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈將技術將運動裝置連接到固定基座上。納米位移臺內置精密傳感器，閉環(huán)控制時，三英的傳感器技術在保證線性度的前提下，可以實現納米級別、亞納米級別的分辨率。
控制器為納米位移臺提供電源。在閉環(huán)控制時，納米位移臺內部的傳感器為控制器提供位移數據?？刂破髦芷谛缘奶幚砦灰茢祿⑿拚敵鲭妷盒盘?，從而使位移數據與指令數據相同。
三英提供簡單易用的軟件。納米位移系統(tǒng)通常作為大型設備的一個部件，因而納米位移系統(tǒng)與其他硬件良好配合是相當重要的。三英控制器對外通信方式有多種，常用的方式是通過BNC模擬信號（-10V~10V）控制納米位移臺的位移。還可以通過USB接口和數字IO實現與控制器的通信。三英控制器內部軟件實現了基于PID算法、陷波濾波器的閉環(huán)控制，內部集成了正弦波、方波和三角波的波形發(fā)生器。
如有客戶需求，三英可以對納米位移運動控制系統(tǒng)進行量身定制，以提供及時、滿意的技術支持與服務。
| 型號 | NS-XY200Z15-01 |
| 運動軸 | X/Y/Z |
| 傳感器類型 | 電容式 |
| 閉環(huán)行程( μm ) | 200/200/15 |
| 閉環(huán)分辨率( nm) | 0.8/0.8/0.1 |
| 線性度( % ) | 0.02/0.02/0.04 |
| 無負載下諧振頻率( Hz ) | 400/400/900 |
| 端口 | D-sub15 |
| 材料 | 鋁合金 |
| 負載( kg ) | 5 |
| 自重( kg ) | 0.78 |
| 尺寸( mm ) | 140 x 140 x 30.2 |
| 適配控制器 | SC100-A/SC300-3/SC400-3 |
注：閉環(huán)分辨率與帶寬有關。
NS-XY200Z15-01
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