NS-Z100-01重載Z軸物鏡定位臺

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更新時間：2024-08-06 13:49:31瀏覽次數(shù)：39次

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三英精控（天津）儀器設備有限公司

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產(chǎn)品簡介

典型應用：顯微成像、晶圓切割、微電子精密加工、物鏡調(diào)焦及掃描、可更換不同的物鏡接口

詳細介紹

典型應用：顯微成像、晶圓切割、微電子精密加工、物鏡調(diào)焦及掃描、可更換不同的物鏡接口。

納米位移系統(tǒng)的應用越來越廣泛，從原子力顯微鏡、精密光學設備、半導體設備到各種行業(yè)。納米位移系統(tǒng)能夠產(chǎn)生和測量優(yōu)于納米（nm）的位移，整個系統(tǒng)包含3部分：納米位移臺、控制器和控制軟件。

納米位移臺是一種機械裝置，內(nèi)部有一個或多個壓電陶瓷，由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運動。三英設計和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈將技術(shù)將運動裝置連接到固定基座上。納米位移臺內(nèi)置精密傳感器，閉環(huán)控制時，三英的傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下，可以實現(xiàn)納米級別、亞納米級別的分辨率。

控制器為納米位移臺提供電源。在閉環(huán)控制時，納米位移臺內(nèi)部的傳感器為控制器提供位移數(shù)據(jù)?？刂破髦芷谛缘奶幚砦灰茢?shù)據(jù)并修正輸出電壓信號，從而使位移數(shù)據(jù)與指令數(shù)據(jù)相同。

三英提供簡單易用的軟件。納米位移系統(tǒng)通常作為大型設備的一個部件，因而納米位移系統(tǒng)與其他硬件良好配合是相當重要的。三英控制器對外通信方式有多種，常用的方式是通過BNC模擬信號（-10V~10V）控制納米位移臺的位移。還可以通過USB接口和數(shù)字IO實現(xiàn)與控制器的通信。三英控制器內(nèi)部軟件實現(xiàn)了基于PID算法、陷波濾波器的閉環(huán)控制，內(nèi)部集成了正弦波、方波和三角波的波形發(fā)生器。

如有客戶需求，三英可以對納米位移運動控制系統(tǒng)進行量身定制，以提供及時、滿意的技術(shù)支持與服務。

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型號	NS-Z100-01
運動軸	Z
傳感器類型	電容式
閉環(huán)行程( μm )	100
閉環(huán)分辨率( nm )	0.5
線性度( % )	0.05
無負載下諧振頻率( Hz )	800
端口	D-sub15
材料	鋁合金
負載( kg )	2
自重( kg )	0.28
尺寸( mm )	Φ65.5 x 52.5
適配控制器	SC100-A/SC300-1/SC400-1