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      鄭州科探儀器設(shè)備有限公司


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      水冷型濺射儀

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      參  考  價(jià)面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號(hào)

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地鄭州市

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      更新時(shí)間:2024-05-03 11:53:09瀏覽次數(shù):65次

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      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      水冷型濺射儀,KT-Z1650PVD,桌面式小型濺射儀,內(nèi)配自動(dòng)電動(dòng)擋板,可保護(hù)樣品或清洗靶材。

      詳細(xì)介紹

      水冷型濺射儀,KT-Z1650PVD,是一種緊湊型全自動(dòng)濺射鍍膜機(jī),使用非常簡(jiǎn)單。由于*的插件概念,該設(shè)備很容易配置濺射或蒸發(fā),只需更換工藝頭。涂層前后可進(jìn)行等離子處理。模塊化設(shè)計(jì)使得避免金屬和碳沉積之間的交叉污染變得容易。

      高度調(diào)節(jié)和傾斜。它可以安裝一個(gè)可選的變速旋轉(zhuǎn)階段或旋轉(zhuǎn)行星階段,每個(gè)選擇持有不同的樣本和存根類型。在所有樣品階段,膜厚監(jiān)測(cè)都作為標(biāo)準(zhǔn)。.
      •高性能濺射、碳涂層和等離子處理
      •獲得的碳線軸–最多50個(gè)碳涂層,無需用戶干預(yù)
      •*的即插即用濺射和碳涂層模塊
      •真空性能和快速泵送時(shí)間

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      水冷型濺射儀技術(shù)參數(shù);

      控制方式

      7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

      濺射電源

      直流濺射電源

      鍍膜功能

      0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

      功率

      ≤1000W

      輸出電壓電流

      電壓≤1000V  電流≤1A

      真空

      機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

      濺射真空

      ≤30Pa

      擋板類型

      電控

      真空腔室

      石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

      樣品臺(tái)

      可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

      樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

      8轉(zhuǎn)/分鐘

      樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

      40-105mm

      真空測(cè)量

      皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

      預(yù)留真空接口

      KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口



      關(guān)鍵詞:人機(jī)界面

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