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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地鄭州市
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更新時(shí)間:2024-05-03 11:53:09瀏覽次數(shù):65次
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水冷型濺射儀,KT-Z1650PVD,桌面式小型濺射儀,內(nèi)配自動(dòng)電動(dòng)擋板,可保護(hù)樣品或清洗靶材。
水冷型濺射儀,KT-Z1650PVD,是一種緊湊型全自動(dòng)濺射鍍膜機(jī),使用非常簡(jiǎn)單。由于*的插件概念,該設(shè)備很容易配置濺射或蒸發(fā),只需更換工藝頭。涂層前后可進(jìn)行等離子處理。模塊化設(shè)計(jì)使得避免金屬和碳沉積之間的交叉污染變得容易。
高度調(diào)節(jié)和傾斜。它可以安裝一個(gè)可選的變速旋轉(zhuǎn)階段或旋轉(zhuǎn)行星階段,每個(gè)選擇持有不同的樣本和存根類型。在所有樣品階段,膜厚監(jiān)測(cè)都作為標(biāo)準(zhǔn)。.
•高性能濺射、碳涂層和等離子處理
•獲得的碳線軸–最多50個(gè)碳涂層,無需用戶干預(yù)
•*的即插即用濺射和碳涂層模塊
•真空性能和快速泵送時(shí)間
水冷型濺射儀,技術(shù)參數(shù);
控制方式 | 7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺(tái) | 可旋轉(zhuǎn)φ62 (可安裝φ50基底) |
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 | 40-105mm |
真空測(cè)量 | 皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
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