NEXIV VMZ-NWL200影像測量儀

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更新時間：2024-03-01 12:12:28瀏覽次數(shù)：257次

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上海舜建儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

NEXIV VMZ-NWL200影像測量儀是一款集成了影像測量系統(tǒng)“NEXIV"和晶圓加載器“NWL200"的自動晶圓測量系統(tǒng)。NEXIV 擁有的圖像處理技術，可以自動對載具中裝載的 6 英寸或 8 英寸晶圓進行高速、高精度的測量。

詳細介紹

NEXIV VMZ-NWL200影像測量儀

是一款集成了影像測量系統(tǒng)“NEXIV"和晶圓加載器“NWL200"的自動晶圓測量系統(tǒng)。NEXIV 擁有的圖像處理技術，可以自動對載具中裝載的 6 英寸或 8 英寸晶圓進行高速、高精度的測量。

高可靠性、高效率和可操作性

NEXIV 影像測量系統(tǒng)廣泛運用于半導體行業(yè)，現(xiàn)已與尼康久經(jīng)驗證的 NWL200 自動晶圓裝載系統(tǒng)集成。

打造出的成果便是 VMZ-NWL200，這是一款具有可靠性和效率的創(chuàng)新型測量單元。此外，專門開發(fā)的軟件簡化了需在工藝控制中執(zhí)行的復雜操作。如今，高質(zhì)量數(shù)據(jù)可以更快地反饋到生產(chǎn)線，從而限度地提高良品率。

高可靠性

VMZ-NWL200 可以自動且穩(wěn)定地執(zhí)行測量，因此消除了由于操作員對讀數(shù)的不同解釋而導致的結(jié)果易變性。此外，Nikon 充分利用其作為光學設備制造商的優(yōu)勢，以提供清晰的圖像，從而準確地檢測被檢查對象的邊緣。

高效率

只需點擊一次，即可開始使用 VMZ-NWL200 執(zhí)行檢查。而且，測量效率是工業(yè)測量顯微鏡的三倍。該影像測量系統(tǒng)的效率高，可幫助實現(xiàn)低 COO（使用成本）。

高可操作性

由于晶圓圖形顯示在 GUI 上，操作員只需用鼠標點擊相應的點即可指出要測量的芯片。

規(guī)格參數(shù)

設備	影像測量系統(tǒng)：NEXIV（VMZ-S3020 Type2、Type3、TypeTZ）
設備	加載器：NWL200
*晶圓 1**	尺寸：6、8 英寸（SEMI/JEIDA 標準）
兼容的載具	6 英寸：PA182-60MB-06XX (Entegris)
兼容的載具	8 英寸：PA192-80M-06XX (Entegris)
*產(chǎn)量 2**	6 分 45 秒
L/S	500 線/毫米
工作環(huán)境溫度	19～26℃
工作環(huán)境濕度	相對濕度小于 70%
尺寸	4125 x 3040 mm
電源電壓	AC100-120V/200-240V
電源頻率	50Hz/60Hz
電流消耗	7.5A/3.7A
真空	-80kPa