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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      富泰微科學(xué)儀器(上海)有限公司


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      日立 FIB-SEM三束系統(tǒng) NX2000

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      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地上海市

      聯(lián)系方式:李經(jīng)理查看聯(lián)系方式

      更新時間:2024-06-17 12:05:54瀏覽次數(shù):139次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:27條

      所在地區(qū):

      聯(lián)系人:李經(jīng)理

      產(chǎn)品簡介

      產(chǎn)品介紹 追求的TEM樣品制備工具 在設(shè)備及高性能納米材料的評價和分析領(lǐng)域,F(xiàn)IB-SEM已成為的工具。 近來,目標(biāo)觀察物更趨微細(xì)化;更薄,更低損傷樣品的制備需求更進(jìn)一步凸顯。 日立高新公司,整合了高性能FIB技術(shù)和高分辨SEM技術(shù),再加上加工方向控制技術(shù)以及Triple Beam®*1(選配)技術(shù),推出了新一代產(chǎn)品NX2000

      詳細(xì)介紹

      FIB-SEM三束系統(tǒng) NX2000.jpg




      產(chǎn)品介紹:


      追求的TEM樣品制備工具

      在設(shè)備及高性能納米材料的評價和分析領(lǐng)域,F(xiàn)IB-SEM已成為的工具。
      近來,目標(biāo)觀察物更趨微細(xì)化;更薄,更低損傷樣品的制備需求更進(jìn)一步凸顯。
      日立高新公司,整合了高性能FIB技術(shù)和高分辨SEM技術(shù),再加上加工方向控制技術(shù)以及Triple Beam®*1(選配)技術(shù),推出了新一代產(chǎn)品NX2000


      產(chǎn)品特點(diǎn):


      運(yùn)用高對比度,實(shí)時SEM觀察和加工終點(diǎn)檢測功能,可制備厚度小于20 nm的超薄樣品



      加工方向控制技術(shù)(Micro-sampling®*3系統(tǒng)(選配)+高精度/高速樣品臺*)對于抑制窗簾效應(yīng)的產(chǎn)生,以及制作厚度均一的薄膜類樣品給予厚望。



      Triple Beam®*1(選配)可提高加工效率,并能使消除FIB損傷自動化



      EB:Electron Beam(電子束)
      FIB:Focused Ion Beam(聚焦離子束)
      Ar:Ar ion beam(Ar離子束)


      產(chǎn)品規(guī)格:


      項(xiàng)目內(nèi)容
      FIB鏡筒
      分辨率4 nm @ 30 kV、60 nm @ 2 kV
      加速電壓0.5~30 kV
      束流0.05 pA ~ 100 nA
      FE-SEM鏡筒
      分辨率2.8 nm @ 5 kV、3.5 nm @ 1 kV
      加速電壓0.5~30 kV
      電子槍冷場場發(fā)射型
      探測器
      標(biāo)準(zhǔn)検出器In-lens 二次電子探測器/樣品室二次電子探測器/背散射電子探測器
      樣品臺X:0 ~ 205 mm
      Y:0 ~ 205 mm
      Z:0 ~ 10 mm
      R:0 ~ 360°連續(xù)
      T:-5 ~ 60°


      選購件:


      Ar/Xe離子束系統(tǒng)

      Micro-sampling®*3系統(tǒng)

      缺陷檢測設(shè)備聯(lián)用軟件

      CAD聯(lián)用導(dǎo)航軟件

      EDS(能譜儀)

      TEM樣品精加工向?qū)?/span>

      TEM樣品厚度管理軟件

      連續(xù)A-TEM

      實(shí)時畫質(zhì)優(yōu)化系統(tǒng)

      Swing加工功能(用于Triple Beam®*1)

      等離子清洗機(jī)

      真空轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)

      冷臺


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