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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
                當(dāng)前位置：蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司>>儀器設(shè)備>>光刻機>>URE-2000/35AL光刻機
            
      
			
      
				
      
					
      URE-2000/35AL光刻機
      
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      參  考  價面議  
      
					                    
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地蘇州市
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時間：2023-08-05 09:30:29瀏覽次數(shù)：221次
							
      
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                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      產(chǎn)品介紹:主要技術(shù)參數(shù)：（1）曝光面積：150mm×150mm； （2）照明不均勻性： ￡4%（ f150mm范圍）；（3）分辨力：1.0um（365nm波長）（4）對準(zhǔn)精度：≤±0.8um...
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			             
      主要技術(shù)參數(shù)：
      （1）曝光面積：150mm×150mm； 
      （2）照明不均勻性： ￡4%（ f150mm范圍）；
      （3）分辨力：1.0um（365nm波長）
      （4）對準(zhǔn)精度：≤±0.8μm；
      （5）掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸、7英寸；
      （6）樣片尺寸：直徑f15mm-- f150mm、厚度0.1mm--6mm；
      （7）掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:±6°；
      （8）掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm
      （9）曝光光源：紫外LED（進(jìn)口）；
      （10）曝光波長：365nm；
      （11）曝光強度：≥15mW/cm2；
      （12）曝光定時：倒計時方式(0.1s—9999.9s任意設(shè)定).
      技術(shù)構(gòu)成與配置
      設(shè)備由曝光頭系統(tǒng)、對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)、CCD對準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)等部分構(gòu)成。
      （1）曝光頭系統(tǒng)包括:
      ◆ 進(jìn)口紫外LED光源模塊；
      ◆ LED光源整形模塊；
      ◆ XYZ光源位置調(diào)節(jié)臺；
      ◆ 光學(xué)系統(tǒng)（含整形模塊、可變光欄、電子快門、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、場鏡組、反射鏡組）；
      ◆ 冷卻風(fēng)扇。
      （2）對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)包括：
      ◆ 掩模樣片相對運動臺（XY）；
      ◆ 轉(zhuǎn)動臺；
      ◆ 樣片調(diào)平機構(gòu)，采用三爪加球氣浮自動調(diào)平方式；
      ◆ 樣片調(diào)焦機構(gòu)，采用電機加傳感器方式，可數(shù)字分離曝光間隙；
      ◆ 承片臺4個（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸各1個）；
      ◆ 掩模夾4個（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸各1個）。
      （3）CCD對準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)包括：
      ◆ 對準(zhǔn)光源LED燈；
      ◆ 雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體；
      ◆ 目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）；
      ◆ 物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）；
      ◆ CCD部件；
      ◆ 22英寸寬屏液晶顯示器。
      （4）電控系統(tǒng)包括：
      ◆ 單片機控制系統(tǒng)；
      ◆ 紫外LED電源模塊；
      ◆ 控制柜桌。
      （5）氣動系統(tǒng)包括：
      ◆ 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)、電磁閥驅(qū)動、氣動儀表等 。
      (6)．輔助設(shè)備配置:
      ◆ 真空泵1臺（干泵）；
      ◆ 空氣壓縮機1臺；
      ◆ 配套接管10m；
      (7)．備品備件
      ◆ 對準(zhǔn)光源燈4只（LED-1W，不包括機器自帶的兩只）

      
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
			
      
			
      
		
      
	
      
	
    
      
		
      
			
      
				
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