RTP快速退火爐由我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。該產(chǎn)品采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體和爐管可以自由滑動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸120MM，可以直接放下4英寸的材料。試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi)，在完成生產(chǎn)工藝的同時(shí)，也大大降低了間接污染試樣的可能性。
主要功能和特點(diǎn):
1、可視化7寸觸摸屏，設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面，操作方便;
2、爐體配備高精度移動(dòng)平臺(tái)，運(yùn)行平穩(wěn)無抖動(dòng);
3、爐管可自由移動(dòng)，且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能;當(dāng)爐管移出爐膛時(shí)冷確風(fēng)扇啟動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)試樣的迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)要求;
4、爐膛采用進(jìn)口多晶纖維真空吸附制成，采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱，使用壽命可達(dá)5000小時(shí)，升溫速度快，*高溫度可達(dá)1050℃。
5、預(yù)留了真空、氣路快速接口，可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用;
6、預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口，可通過我司專用軟件，與計(jì)算機(jī)互聯(lián)，可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能;
7、設(shè)置超溫報(bào)警并斷電，漏電保護(hù)，操作可靠。
主要用途和適用范圍:
用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域，可滿足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火，氧化物生長(zhǎng)以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場(chǎng)合。
主要技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品型號(hào) | CY-R1000-200IT |
| 爐體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu)，高精度移動(dòng)平臺(tái) |
| 爐膛材質(zhì) | 真空吸附成型的上等高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好 |
| 爐管材質(zhì) | 高純石英管φ210*650mm，有效試樣空間:8英寸 |
| 密封法蘭 | 不銹鋼快速擠壓密封法蘭 |
| 溫控系統(tǒng) | 溫度控制系統(tǒng)采用觸摸屏操作，人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)自整定功能，并可編制 30段升降溫程序;控溫精度土1C |
| 顯示模式 | 液晶觸摸屏顯示 |
| 加熱元件 | 進(jìn)口紅外燈管 |
| 測(cè)溫元件 | N型熱電偶(可選配內(nèi)置熱電偶，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)加熱物料溫度) |
| 使用溫度 | *高溫度1050℃，連續(xù)工作溫度≤1000℃ |
| 升溫速度 | 推薦≤80℃/S,*快升溫速度200℃/S |
| 降溫速度 | 200℃以上≤25min |
| 恒溫區(qū) | 加熱區(qū)長(zhǎng)度200mm |
| 設(shè)備尺寸 | 650*1200*650mm(深*寬*高) |
| 設(shè)備凈重 | 185kg |
| 供電電源 | AC220V，50/60Hz;額定功率45KW |
| 可選真空 | 客戶可根據(jù)實(shí)際需要選擇配置低真空系統(tǒng)或者高真空系統(tǒng) |
| 供氣系統(tǒng) | 客戶可根據(jù)實(shí)際需要選擇配置多通道浮子流量計(jì)或者質(zhì)量流量計(jì)等混氣供氣系統(tǒng) |
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