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      廣州競贏化工科技有限公司


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      208HR高真空離子濺射儀

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      更新時(shí)間:2022-10-12 16:24:08瀏覽次數(shù):135次

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      商鋪產(chǎn)品:47條

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      產(chǎn)品簡介

      208HR高分辨離子濺射儀適用于場發(fā)射掃描電鏡 208HR高分辨離子濺射儀為場發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用中遇到的各種樣品噴鍍難題提供真正的解決方案

      詳細(xì)介紹

      208HR高分辨離子濺射儀
      適用于場發(fā)射掃描電鏡
      208HR高分辨離子濺射儀為場發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用中遇到的各種樣品噴鍍難題提供真正的解決方案。
      場發(fā)射掃描電鏡觀察時(shí),樣品需鍍上極其薄、無細(xì)晶且均勻的膜層以消除電荷積累,并提高低密度材料的對(duì)比度。為了將細(xì)晶的尺寸減小到最小程度,208HR提供了一系列的鍍膜材料,并對(duì)膜厚和濺射條件提供無可媲美的控制。
      208HR分子渦輪泵高真空系統(tǒng)提供寬范圍的操作壓力,可以對(duì)膜層的均勻性和一致性進(jìn)行精確控制,并減小充電效應(yīng)。高/低樣品室的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使靶材和樣品之間的距離調(diào)節(jié)變得極為方便。
      MTM-20高分辨膜厚控制儀分辨率小于0.1nm,其作用是對(duì)所鍍薄膜的厚度進(jìn)行精確控制,它尤其適合場發(fā)射電鏡對(duì)膜厚(0.5-3nm)的要求。
      場發(fā)射掃描電鏡鍍膜推薦的靶材是:
      • Pt/Pd:非導(dǎo)電樣品鍍膜的通用鍍膜材料
      • Cr:優(yōu)良的半導(dǎo)體樣品的鍍膜材料
      • Ir:優(yōu)良的真正無細(xì)晶的鍍膜材料
      208HR系統(tǒng)為得到高分辨鍍膜效果提供了多種配置選擇,可配備標(biāo)準(zhǔn)的旋片泵或提供干凈真空的無油渦旋式真空泵,標(biāo)配的208HR包含Cr 和 Pt/Pd靶。
      一、主要特性
      · 可選擇多種鍍膜材料
      · 精確的膜厚控制
      · 樣品臺(tái)控制靈活:可對(duì)樣品臺(tái)進(jìn)行獨(dú)立的旋轉(zhuǎn)、行星式轉(zhuǎn)動(dòng)、傾斜控制,保證形貌差異大的樣品也能得到的鍍膜效果。
      · 多個(gè)樣品座:提供4個(gè)樣品座,每個(gè)樣品座直徑32mm,可裝載多達(dá)6個(gè)小樣品座。
      · 樣品室?guī)缀慰勺儯?/b> 樣品室?guī)缀斡糜谡{(diào)節(jié)鍍膜的速率(1.0nm/s ~ 0.002nm/s)
      · 寬范圍的操作壓力:獨(dú)立的功率和壓力調(diào)節(jié),氬氣的壓力大小范圍為0.2 - 0.005 mbar。
      · 緊湊、現(xiàn)代的桌上型設(shè)計(jì)
      · 操作容易
      二、技術(shù)參數(shù)
      濺射系統(tǒng)
      鍍膜頭
      低電壓平面磁控管
      靶材更換快速
      環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩
      靶材調(diào)節(jié)遮擋
      靶材
      Cr, Pt/Pd (標(biāo)配)
      Ta, Au, Au/Pd, Pt, W, Ir (選配)
      鍍膜控制
      微處理器控制
      安全互鎖
      電流控制與真空度無關(guān)
      數(shù)字化可選電流(20,40,60 和 80mA)
      樣品室大小
      直徑150mm
      高度165 - 250mm
      樣品臺(tái)
      非重復(fù)的旋轉(zhuǎn)、行星式轉(zhuǎn)動(dòng),并可手動(dòng)傾斜0-90°
      轉(zhuǎn)動(dòng)速度可調(diào)
      晶體頭
      4個(gè)樣品臺(tái)
      模擬計(jì)量
      真空 Atm - .001mb
      電流 0-100mA
      控制方法
      自動(dòng)氣體凈化和泄氣功能
      自動(dòng)處理排序
      帶有“暫停”功能的數(shù)字計(jì)時(shí)器
      自動(dòng)放氣
      膜厚控制
      MTM-20高分辨膜厚控制儀
      真空系統(tǒng)
      結(jié)構(gòu)
      分子渦輪牽引泵和旋葉泵組合,
      代替旋葉泵的無油渦旋式真空泵(選配)
      抽真空速度
      0.1mb 下300 l/min
      抽真空時(shí)間
      1 mbar 至 1 x 10-3mbar
      極限真空
      1 x 10-5mbar
      桌上型系統(tǒng)
      旋葉泵置于抗震臺(tái)上,全金屬真空耦合系統(tǒng)
      膜厚測控儀
      MTM-20
      基于微處理器,4位數(shù)字顯示,復(fù)位按鈕, 6MHz晶體(具有壽命檢查功能),5次/s的更新速率
      膜厚范圍
      0.0 - 999.9nm
      分辨率
      優(yōu)于 0.1nm
      密度范圍
      0.50 - 30.00gm/cm3
      修正系數(shù)范圍
      0.25 - 8.00
      鍍膜終止范圍
      膜厚0 - 999.9nm
      系統(tǒng)要求
      電氣
      100-120 或 200-240VAC, 50/60Hz
      功率
      550VA()
      氬氣
      最小純度99.995%
      調(diào)節(jié)壓力 5 - 6 psi (0.4 bar)
      6.0mm ID連接軟管

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