久茂自動(dòng)化（大連）有限公司
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半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的溫度控制
高速穩(wěn)定的通過(guò)率
作為荷蘭ASM公司的子公司，Levitech為半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)產(chǎn)品。產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體市場(chǎng)對(duì)小結(jié)構(gòu)和一致性產(chǎn)品的要求，機(jī)器制造商必須實(shí)施新的傳熱方法，這需要更快的溫度修正和更好的控制。那就是為什么Levitech公司要尋找一種替代方法在其產(chǎn)品上控制熱處理過(guò)程。來(lái)自荷蘭的Levitech公司找到了久茂與之合作。
制造過(guò)程
用于晶圓制造的反應(yīng)器由兩個(gè)石墨圓盤(pán)組成，它們被加熱到適當(dāng)?shù)墓に嚋囟?，為了產(chǎn)生更好的結(jié)果，晶盤(pán)需要顯示特定的特征。在這個(gè)過(guò)程中，用氣體使晶圓在兩個(gè)圓盤(pán)之間懸停而互不接觸，必要溫度使用Kanthal®加熱元件才能達(dá)到1200攝氏度。
更高的效率
應(yīng)用創(chuàng)新的傳熱方法有助于晶圓的快速加熱和快速冷卻。晶圓的兩邊都有一個(gè)均勻0.15毫米的開(kāi)口確保非常有效的導(dǎo)熱性。晶圓在幾秒鐘內(nèi)被加熱到石墨片的溫度，它們由一個(gè)特殊的加熱控制系統(tǒng)控制，這就是久茂的晶閘管功率控制器做到的。
JUMO TYA 201在每個(gè)溫度階段控制Kanthal®加熱元件所需的電流和電壓從而確保準(zhǔn)確的溫度變化。該系統(tǒng)使晶圓每次都在相同的溫度下生產(chǎn)。
快速和準(zhǔn)確控制對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品是極其必須的
這就是為什么Levitech公司可以滿(mǎn)足市場(chǎng)需求和在相同時(shí)間內(nèi)可以增加出貨量的原因。
