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      沈陽新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司
      
			  
			  
      
				
				
			  
      

      




 
 
				
		
      
			
      
				
      
					
      
						
      當(dāng)前位置：沈陽新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司>>潔凈機(jī)器人>> 真空機(jī)械手PHOENIX-S25系列
      
					
      
				
      
			
      
		
      
		
      
			
      
				
      
					
      真空機(jī)械手PHOENIX-S25系列 
      
					
                             
					                    
					    
      
                        
      
                        						    
      
															
      參  考  價(jià):面議  
      
							                            
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
						
      
                        						
						
      
							
      
								
      產(chǎn)品型號(hào)
      
								
      品牌
      
	                            
      廠商性質(zhì)其他
      
	                            								
      所在地沈陽市
      
							
      
							
                            
      
                                                            
      
							
      
								
      
									更新時(shí)間：2025-01-17 08:57:52瀏覽次數(shù)：57次
								
      
								聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 智能制造網(wǎng)
							
      
						
      
						
                        
      
											
      
                    
					                 
            			 
				
      
			
      
		
      
		
      
			
      
				
      
					
				    
      
				        				        
				        
      
				            
      
				                
      
				                    				                
      
				            
      
				            
      
				            直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒有齒輪，皮帶等部件，系統(tǒng)運(yùn)行的平穩(wěn)性更好，可靠性更高。全新的IO模塊，具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據(jù)需求配置成互鎖，傳感器檢測等功能。輸入信號(hào)支硬件中斷功能，方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應(yīng)用。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護(hù)功能，減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。帶有大屏幕機(jī)器人示教器，方便調(diào)試人員使用，并支持熱插拔功能?？梢愿鶕?jù)客戶應(yīng)用的特殊要求......
      
				        
				        
      
							
      
								
       
           
      advantages
               
      產(chǎn)品優(yōu)勢
           
           
           
               
               
               
               
      • 安全穩(wěn)定可靠
        具有性能安全穩(wěn)定可靠，運(yùn)行平穩(wěn)性好等特點(diǎn)
      • 多種優(yōu)勢
        具有高剛性、高速度、高精度等優(yōu)勢
      • 作業(yè)空間利用率高
        適用于潔凈領(lǐng)域，輕量級(jí)設(shè)計(jì)使其與產(chǎn)線融于一體，作業(yè)空間利用率高
      • 技術(shù)
        其控制技術(shù)，動(dòng)作靈活輕巧快捷，操作持久耐用
      • 多種優(yōu)良特性
        滿足各類柔性化集成和生產(chǎn)等優(yōu)良特性于一體
              
           
       
       
       
           
      Application areas
               
      產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域
           
           
           
      • 半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)
          
       
       
       
               
                   
      parameter
                   
      產(chǎn)品參數(shù)
               
               
                   
                                  
      •                  
        晶圓尺寸 
                             
                                                         φ200mm                    
                         
        •                              
      •                  
        負(fù)載重量
                             
                                                         ≤0.5Kg                     
                         
        •                              
      •                  
        R軸重復(fù)定位精度 
                             
                                                         ±0.05mm                     
                         
        •                              
      •                  
        θ軸重復(fù)定位精度 
                             
                                                         ±0.006°                    
                         
        •                              
      •                  
        Z軸重復(fù)定位精度 
                             
                                                         ±0.05mm                     
                         
        •                              
      •                  
        R軸行程 
                             
                                                         ≤703mm                     
                         
        •                              
      •                  
        T軸行程 
                             
                                                         360°                     
                         
        •                              
      •                  
        Z軸行程 
                             
                                                         35mm                    
                         
        •                              
      •                  
        真空度
                             
                                                         ＜1×10-7 Torr                     
                         
        •                              
      •                  
        漏率 
                             
                                                         ＜1×10-9  std.cc/sec He                     
                         
        •                              
      •                  
        整機(jī)重量 
                             
                                                         50kg                     
                         
        •                              
               
           
       
             
							
      
				            
				        
      
                                            
				        
      
				            
				            				            				            
      
				                
      
				                    
       
       
      
				                
      
				                
      
				                    
      真空機(jī)械手 Archer 系列
      
				                     直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，系統(tǒng)運(yùn)行的平穩(wěn)性更好，可靠性更高。全新
				                
      
				            
      
				            				            				            				            
      
				                
      
				                    
       
       
      
				                
      
				                
      
				                    
      大氣機(jī)械手Blade-S225
      
				                     大氣機(jī)械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍(lán)寶石基片搬運(yùn)。手臂采用的結(jié)構(gòu)加強(qiáng)了
				                
      
				            
      
				            				            				            				            
      
				                
      
				                    
       
       
      
				                
      
				                
      
				                    
      真空機(jī)械手 SM11
      
				                     直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒有齒輪，皮帶等部件，系統(tǒng)運(yùn)行
				                
      
				            
      
				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				        
      
				    
      

				
      
			
      
		
      

               
        

		

		        



  
    
    				
			 
    
    

    

     
      
     
	 

 	
	
	

      
	
      
		
      
			
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