詳細介紹
微分干涉顯微鏡采用優(yōu)良的無限遠光學(xué)系統(tǒng)與模塊化的功能設(shè)計理念,可實現(xiàn)偏光觀察、明場觀察、反射暗場、透射觀察、反射微分干涉觀察功能。設(shè)計符合人機工程學(xué)要求的理想設(shè)計,低手位操作更方便舒適。適用于金相組織及表面形態(tài)的顯微觀察,本儀器適合電子、冶金、化工和儀器儀表行業(yè)用于觀察半透明或不透明的物資,適合對太陽能電池硅片、半導(dǎo)體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析等。
微分干涉顯微鏡
主要特點:
1、采用優(yōu)良的無限遠光學(xué)系統(tǒng),提供的光學(xué)性能,配無限遠長工作距離物鏡,超寬目鏡觀察筒及φ22mm大視野目鏡.
2、低手位操作,降低長時間操作時的疲勞,儀器主體采用全白噴漆,美觀大方,采用內(nèi)六角螺釘固緊儀器連接部分,無任何裸露在外的螺釘.
3、三目鏡筒,可自由切換正常觀察與偏光、反射、透射、暗場、微分干涉觀察,可進行*透光攝影.
4、高像素數(shù)字成像系統(tǒng),電腦顯示成像真實清晰,多種攝像機和功能軟件可供選擇.
5、超低位粗微動同軸調(diào)焦機構(gòu),微動格值:2μm,帶鎖緊限位裝置,防止鏡頭碰觸樣品和載物臺自動下滑.
6、微分干涉相襯觀察時圖像清晰,干涉色均勻,具有較強的浮雕感.
技術(shù)參數(shù)及配置:
名 稱 | 參數(shù)規(guī)格 | |
觀察鏡筒 | 鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒,30度傾斜,*通光攝影。瞳距調(diào)節(jié)范圍:50-75mm,視度可調(diào) | |
目鏡 | 大視野目鏡WF10X(Ф22mm) | |
大視野目鏡WF15X(Ф16mm) | ||
大視野目鏡WF20X(Ф12mm) | ||
WF10X(Ф22mm)大視野分劃目鏡(0.10mm/格) | ||
無限遠長工作距離平場消色差物鏡 | 明視場/暗視場金相物鏡 | PL L40X/0.60 BD 工作距離:3.0 mm |
微分干涉物鏡(DIC) | LMPlan5X/0.12 DIC 工作距離:18.2 mm | |
LMPlan10X/0.25DIC 工作距離:20.2 mm | ||
LMPlan20X/0.35DIC 工作距離:6.0mm | ||
調(diào)焦系統(tǒng) | 粗微動同軸調(diào)焦機構(gòu),微動格值:2μm,左調(diào)焦帶鎖緊裝置,右調(diào)焦帶限位裝置 |
載物臺 | 雙層機械式移動載物臺,外形尺寸:210mmX140mm,移動范圍75mmX50mm. |
載物板 | 透光玻璃載物板,大?。?7*76mm |
轉(zhuǎn)換器 | 五孔內(nèi)彎式物鏡轉(zhuǎn)換器(滾珠定位) |
偏光裝置 | 插入式起偏、檢偏裝置,可360度旋轉(zhuǎn)檢偏鏡,起偏和檢偏均可移出光路 |
DIC調(diào)節(jié)系統(tǒng) | 適用于 LMPlan5X/LMPlan10X/LMPlan20X DIC物鏡 |
暗場裝置 | 推拉式暗場觀察拉桿,快速明視場暗視場觀察轉(zhuǎn)換 |