華測儀器電化學(xué)遷移評價(jià)系統(tǒng)問世

隨著半導(dǎo)體器件小型化的進(jìn)展，在過于苛刻的條件下評估電遷移變得至關(guān)重要。電遷移評估系統(tǒng)提供基于溫度和電流應(yīng)力（影響器械使用壽命的兩個(gè)主要因素）的準(zhǔn)確測量以及用于確定判斷器械壽命所需參數(shù)的分析軟件。旨在滿足廣泛的評估需求，從評估到生產(chǎn)管理，提供增強(qiáng)的可操作性、可靠性和簡化的數(shù)據(jù)分析。

華測儀器作為行業(yè)內(nèi)的突出者，始終秉持著對技術(shù)創(chuàng)新的執(zhí)著追求，憑借深厚的技術(shù)積累與專業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，致力于為材料電學(xué)測試領(lǐng)域提供優(yōu)秀的解決方案。此次電化學(xué)遷移評價(jià)系統(tǒng)的推出，無疑是華測儀器在該領(lǐng)域的又一重大里程碑。

性能

240通道評價(jià)試驗(yàn) 在單個(gè)櫥柜中的3個(gè)烤箱中

2個(gè)通道 (DUT) = 1個(gè)插座

5個(gè)插座 = 1個(gè) DUT 板

8個(gè) DUT 板 = 1個(gè)烤箱

3個(gè)烘箱 = 1個(gè)柜

在單個(gè)烤箱中較多可測試80個(gè)通道或DUT，使每個(gè)機(jī)柜有240個(gè)通道。然而，主機(jī) PC 可以控制多達(dá)1200個(gè)通道或5個(gè)滿載機(jī)柜。

高精度溫度 控制在350°C以下

該烘箱能夠檢測高達(dá)350℃的溫度，并在300℃下提供±3.5℃的高度準(zhǔn)確溫度分布。每個(gè)烘箱均配有獨(dú)立的控制器，用于單獨(dú)的溫度設(shè)置。

當(dāng)前應(yīng)力應(yīng)用至200 mA

能夠施加0.1 mA至 200 mA 之間的應(yīng)力電流。

高度可靠的雙重接觸 板結(jié)構(gòu)

DUT 板和插座連接具有雙觸點(diǎn)結(jié)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)更強(qiáng)的固定。該結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)確保在高溫下進(jìn)行長期評價(jià)的可靠性更高。

連接板

引腳分配亂序功能使得即使使用具有不同引腳布局的 DUT 也可以評估 ESPEC DUT 板。

四種試驗(yàn)?zāi)Ｊ?/span>

能夠在強(qiáng)制降解溫度和電流下通過測量電阻進(jìn)行四種不同的檢測：電遷移、強(qiáng)制降解遷移、溫度特性 (TCR) 和擠壓。