智能制造網(wǎng)APP
智能制造網(wǎng)手機站
智能制造網(wǎng)小程序
智能制造網(wǎng)官微
智能制造網(wǎng)服務(wù)號
智能控制
機器人
儀器儀表
物聯(lián)網(wǎng)
3D打印
工業(yè)軟件
回放
品牌
銘控
【中國智能制造網(wǎng) 智造快訊】10月9日，由成都高新區(qū)企業(yè)成都太科光電牽頭，協(xié)同國內(nèi)多家大學(xué)、研究所和企業(yè)實施的國家重點研發(fā)計劃重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)項目“超光滑表面無損檢測儀”正式啟動。
據(jù)悉，“超光滑表面無損檢測儀”項目是2016年國家“十三五”重點研發(fā)計劃首批開發(fā)項目之一，也是四川省及一個國家重點研發(fā)計劃“重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)”專項項目。
“這個檢測儀相當(dāng)于微電子芯片生產(chǎn)制造中的‘卡尺’。”成都太科光電總經(jīng)理趙智亮表示，芯片是由多層構(gòu)成且呈透明或半透明狀態(tài)，傳統(tǒng)檢測設(shè)備是單點掃描，效率低，而且會與芯片進行接觸，對其造成一定“傷害”。“今日啟動研發(fā)的超光滑表面無損檢測儀，采用非接觸式測量和多表面分離算法，以儀器系統(tǒng)化與集成化結(jié)合多表面干涉重疊條紋分離算法為突破口，解決高精度超光滑表面無損檢測的關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，研發(fā)成功后將打破國外公司的技術(shù)壟斷和價格壁壘。”
據(jù)了解，該儀器主要用于高精度非接觸測量，可廣泛應(yīng)用于高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路、半導(dǎo)體制造、半導(dǎo)體照明以及太陽能新能源電池等基片的關(guān)鍵參數(shù)快速檢測，還可應(yīng)用于大型現(xiàn)代光學(xué)工程系統(tǒng)，如大型高功率固體激光系統(tǒng)、極紫外光刻、航空航天空間光學(xué)等領(lǐng)域中大口徑元件面形、材料特性等參數(shù)測量。
“項目完成后，將研制數(shù)臺超光滑表面無損檢測儀，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)的系列化產(chǎn)品和關(guān)鍵技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化路線，為未來產(chǎn)業(yè)化發(fā)展提供工藝路線。”趙智亮說，2020年項目研發(fā)完成，預(yù)計項目驗收后三年內(nèi)，完善儀器產(chǎn)品化所有流程，基本形成產(chǎn)品化的標(biāo)準(zhǔn)工藝流程。
(原標(biāo)題：國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)項目在蓉啟動)
浙公網(wǎng)安備 33010602000006號
智能制造網(wǎng)APP
智能制造網(wǎng)小程序
微信公眾號
