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近日，德國弗勞恩霍夫IPMS(Fraunhofer IPMS)展示了基于新型高集成512 x 320微鏡陣列空間光調(diào)制器。
德國弗勞恩霍夫IPMS(Fraunhofer IPMS)研究所是全球領(lǐng)先的電子和光子微系統(tǒng)研發(fā)機(jī)構(gòu)，服務(wù)于工業(yè)、醫(yī)療和移動應(yīng)用領(lǐng)域，致力于推動高精度光學(xué)技術(shù)，以滿足半導(dǎo)體行業(yè)及其他領(lǐng)域日益增長的微型化和復(fù)雜性需求。
其空間光調(diào)制器配備了定制的傾斜和活塞鏡系統(tǒng)，已成為半導(dǎo)體技術(shù)中的重要組成部分。
這些尖端解決方案具有革命性潛力，可在材料加工、3D全息顯示和生物醫(yī)學(xué)成像等領(lǐng)域產(chǎn)生重大影響，尤其是在納米級精度和高速編程至關(guān)重要的應(yīng)用中。
空間光調(diào)制器由數(shù)百萬個微鏡組成，集成在單一的半導(dǎo)體芯片上。微小的鏡子形成一個微鏡陣列，根據(jù)鏡子的類型，這些鏡子可以沿一個或兩個軸傾斜，或者單獨(dú)下拉。通過這種方式，它們可以控制和調(diào)節(jié)光的方向、強(qiáng)度或相位。這些空間光調(diào)制器適用于各種廣泛的應(yīng)用。
1軸傾斜鏡使得可以生成光學(xué)圖案以及對表面進(jìn)行結(jié)構(gòu)化照明。灰度圖案投影廣泛應(yīng)用于微光刻技術(shù)中，用于將圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上。紫外光(UV)和深紫外光(DUV)范圍內(nèi)的光調(diào)制是弗勞恩霍夫IPMS的專長。此外，1軸傾斜鏡設(shè)備還可以實(shí)現(xiàn)可編程顯微鏡照明，適用于對敏感生物樣本進(jìn)行無損檢測。
空間光調(diào)制器可以將廣泛的光束集中成強(qiáng)激光點(diǎn)。2軸傾斜鏡將入射光重定向?yàn)槎鄠€光束，并以最小的光損失精確控制它們的方向。因此，它們非常適合需要高光強(qiáng)或高效率的應(yīng)用，如激光打孔或激光雕刻。
活塞鏡陣列能夠?qū)崟r生成全息3D圖像，它們是實(shí)現(xiàn)真正全息3D抬頭顯示的關(guān)鍵組件。高精度活塞鏡技術(shù)還在自適應(yīng)光學(xué)或光學(xué)鑷子等領(lǐng)域提供了潛在的應(yīng)用。
為了實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的技術(shù)轉(zhuǎn)移到實(shí)際應(yīng)用中，弗勞恩霍夫IPMS提供了客戶評估套件，配備64k(256x256)微鏡陣列，包括傾斜鏡或活塞鏡陣列。
除了微鏡芯片外，弗勞恩霍夫IPMS套件還包括控制電子設(shè)備和軟件。此外，還提供客戶支持服務(wù)。
浙公網(wǎng)安備 33010602000006號
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