晶圓守護者！ABB機器人助力半導(dǎo)體精密“智”造

2024-04-26 08:35:18來源：ABB機器人關(guān)鍵詞：ABB機器人半導(dǎo)體閱讀量：25198

導(dǎo)讀：為了滿足對半導(dǎo)體晶片日益增長的需求，穩(wěn)定質(zhì)量，降低碎片化風(fēng)險，提高生產(chǎn)線運輸效率，半導(dǎo)體制造商易發(fā)精機選擇與ABB機器人合作，利用自動化技術(shù)最大限度地提高產(chǎn)能。

　　現(xiàn)代電子設(shè)備中至關(guān)重要的半導(dǎo)體，其制造過程精密復(fù)雜。如何減少半導(dǎo)體必要材料晶圓在機器或工廠間轉(zhuǎn)移時受到的污染和損耗成為一大難題。機器人技術(shù)的應(yīng)用能夠幫助減少晶圓碎片化風(fēng)險，提高運輸效率，一起來一睹為快！

　　由于其材料特性，硅晶圓非常脆弱易碎。晶圓轉(zhuǎn)移的拆箱和包裝過程通常需要人工24小時不間斷地工作，才能趕上后續(xù)的生產(chǎn)步驟。為了滿足對半導(dǎo)體晶片日益增長的需求，穩(wěn)定質(zhì)量，降低碎片化風(fēng)險，提高生產(chǎn)線運輸效率，半導(dǎo)體制造商易發(fā)精機選擇與ABB機器人合作，利用自動化技術(shù)最大限度地提高產(chǎn)能。

　　解決方案

　　首先，ABB IRB 4600機器人將晶圓運輸盒移動至氮氣填充站，然后由配備無塵超聲波切割機的IRB 1200以最佳切割路徑割開包裝晶圓運輸盒的鋁袋。

　　隨后，IRB 4600將晶圓運輸盒移動到另一個站點，移除鋁袋，并將廢棄的包裝丟棄。

　　最后，另一臺IRB 1200為IRB 4600放置RFID，卸載晶圓運輸盒。

　　高潔凈度

　　使用了符合潔凈室標(biāo)準的IRB 1200和IRB 4600，配備了超聲波切割器，可避免產(chǎn)生更多的灰塵顆粒。

　　穩(wěn)定可靠

　　ABB機器人的高精度和可靠性使工藝過程中的振動值小于0.35G，減少了硅晶圓轉(zhuǎn)移過程中的的污染和損耗。

　　高效輸送

　　實現(xiàn)了每小時30次晶圓運輸盒包裝/拆包過程的目標(biāo)，滿足增長的生產(chǎn)需求。

　　易發(fā)精機第一業(yè)務(wù)部門的團隊負責(zé)人Royal Luo 表示，在引入自動化技術(shù)時，技術(shù)產(chǎn)品的多樣性是一個重大挑戰(zhàn)，但ABB機器人總能滿足我們的需求。在將設(shè)備銷售到海外后，我們?nèi)匀豢梢垣@得ABB的技術(shù)支持，讓我們能安心與ABB機器人合作。

　　電子產(chǎn)品制造極其復(fù)雜。電子元件密度高、內(nèi)部結(jié)構(gòu)復(fù)雜、部件微小精密的特點，要求裝配過程具有極高的精度。而保證高精確性和重復(fù)定位精度的同時，整個解決方案還需要快速、高效、緊湊和可靠。

　　在電子制造中，如何讓所想即為所得？如何讓電子制造更加簡單、智能、高效？ABB RobotStudio讓這一切成為可能！

　　RobotStudio有著一流的虛擬控制器技術(shù)，可以使用屏幕上的模擬(或數(shù)字孿生)來精確模擬機器人在真實環(huán)境中的運動。這讓制造商能在對實際生產(chǎn)線做出任何更改之前，先在虛擬環(huán)境中構(gòu)建、測試和改進機器人部署，加快了實際調(diào)試速度，最大限度地減少了生產(chǎn)中斷，并且可以顯著提高生產(chǎn)效率。

　　關(guān)于易發(fā)精機

　　易發(fā)精機(EFC)是一家領(lǐng)先的高科技工業(yè)加工設(shè)備系統(tǒng)集成商。其全自動精密生產(chǎn)的設(shè)備主要用于光電子行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)和動力電池行業(yè)。公司以“以精湛工藝創(chuàng)造無限價值”為理念，通過對完美產(chǎn)品研發(fā)的不懈追求以及快速的服務(wù)、支持和響應(yīng)，為客戶提供最佳效率。

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