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      華為新專利公開:能提高晶圓對準(zhǔn)效率、精度

      2023-12-18 09:37:42來源:快科技 關(guān)鍵詞:晶圓處理裝置晶圓處理方法閱讀量:21456

      導(dǎo)讀:據(jù)悉,截至2022年底,華為持有超過12萬項有效授權(quán)專利,主要分布在中國、歐洲、美洲、亞太、中東和非洲。
        12月16日消息,近日國家知識識產(chǎn)權(quán)局公告,華為技術(shù)有限公司申請一項名為“晶圓處理裝置和晶圓處理方法”的專利獲批,公開號CN117219552A,申請日期為2022年6月。
       
        專利摘要顯示,本公開的實施例涉及晶圓處理裝置和晶圓處理方法。
       
        晶圓處理裝置包括:晶圓載臺,晶圓載臺可沿旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn);機械臂,包括機械手,用于搬運晶圓并將晶圓放置在晶圓載臺上;控制器;以及校準(zhǔn)組件。
       
        包括:光柵板,相對于晶圓載臺固定;光源,相對于光柵板固定;以及成像元件,固定設(shè)置在機械臂上,并且適于接收從光源發(fā)出的、透過光柵板的光。
       
        其中,控制器被配置成基于成像元件對接收到的光的檢測,控制機械臂或機械臂上的調(diào)整裝置來調(diào)整晶圓的位置。
       
        在晶圓載臺承載晶圓的情況下,光柵板和成像元件分別位于晶圓載臺的上表面所在平面相對兩側(cè),上表面用于承載晶圓。
       
        本公開的實施例提供的裝置和方法能夠提高晶圓對準(zhǔn)效率和對準(zhǔn)精度。
       
        據(jù)悉,截至2022年底,華為持有超過12萬項有效授權(quán)專利,主要分布在中國、歐洲、美洲、亞太、中東和非洲。
       
        其中,華為在中國和歐洲各持有4萬多項專利,在美國持有22000多項專利。
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