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      《X射線熒光鍍層測厚儀校準(zhǔn)規(guī)范》等3項(xiàng)計(jì)量技術(shù)規(guī)范征求意見

      2023-09-28 18:53:38來源:儀表網(wǎng) 關(guān)鍵詞:X射線熒光鍍層測厚儀閱讀量:21267

      導(dǎo)讀:全國幾何量長度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)已完成《球板校準(zhǔn)規(guī)范》《回轉(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺(tái)校準(zhǔn)規(guī)范》和《X射線熒光鍍層測厚儀校準(zhǔn)規(guī)范》3項(xiàng)計(jì)量技術(shù)規(guī)范的征求意見稿。
        根據(jù)國家市場監(jiān)督管理總局下達(dá)的國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范制修訂計(jì)劃,全國幾何量長度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)已完成《球板校準(zhǔn)規(guī)范》《回轉(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺(tái)校準(zhǔn)規(guī)范》和《X射線熒光鍍層測厚儀校準(zhǔn)規(guī)范》3項(xiàng)計(jì)量技術(shù)規(guī)范的征求意見稿。為了使國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范能廣泛適用和更具可操作性,特向全國有關(guān)單位及專家公開征求意見和建議。意見反饋郵箱:mtc2@nim. ac. cn,截止時(shí)間2023年11月10日前。
       
        《球板校準(zhǔn)規(guī)范》
       
        球板是一種多尺寸標(biāo)準(zhǔn)器,由多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)球鑲嵌在平板上構(gòu)成。利用球形要素構(gòu)成的各種尺寸,可用于坐標(biāo)測量機(jī)的期間核查和誤差參數(shù)分析。光學(xué)三維掃描儀在工業(yè)制造領(lǐng)域應(yīng)用日益廣泛,其示值誤差通常也采用球板進(jìn)行評(píng)價(jià)。
       
        中國計(jì)量科學(xué)研究院建立的一維二維多尺寸標(biāo)準(zhǔn)器校準(zhǔn)裝置([ 2012 ]國量標(biāo)證字第254號(hào)),多年來開展步距規(guī)、球棒和球板的校準(zhǔn)工作,為用戶開展溯源服務(wù),其中步距規(guī)和球棒已發(fā)布了正式的校準(zhǔn)規(guī)范,球板的校準(zhǔn)依據(jù)仍是自編校準(zhǔn)規(guī)范,有待立項(xiàng)完成。
       
        目前國內(nèi)外還沒有球板相關(guān)的規(guī)程規(guī)范,通過本規(guī)范的制定,可以規(guī)范球板的計(jì)量特性,為用戶提供規(guī)范化的使用方法,促進(jìn)先進(jìn)制造業(yè)的發(fā)展。
       
        本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于具有規(guī)則陣列和特殊排列結(jié)構(gòu)的球板標(biāo)準(zhǔn)器的首次校準(zhǔn)、后續(xù)校準(zhǔn)和使用中檢查。利用圓孔要素構(gòu)成的標(biāo)準(zhǔn)器可參考本規(guī)范進(jìn)行校準(zhǔn)。
       
        《回轉(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺(tái)校準(zhǔn)規(guī)范》
       
        回轉(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺(tái)是一種集成角度反射鏡的精密伺服定位轉(zhuǎn)臺(tái)。包括可360°旋轉(zhuǎn)的角度反射鏡、轉(zhuǎn)軸、主體及底座?;剞D(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺(tái)工作時(shí),測角轉(zhuǎn)臺(tái)底座與被測回轉(zhuǎn)軸線連接,轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)角度反射鏡旋轉(zhuǎn)某一固定角度,該角度作為與被測回轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)角度的比較基準(zhǔn)參與完成被測回轉(zhuǎn)軸角位置誤差測量。角度反射鏡與激光干涉儀、角度干涉鏡配合使用,可以完成水平、豎直、傾斜、擺動(dòng)等多種姿態(tài)回轉(zhuǎn)軸線的角位置誤差測量。
       
        本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范規(guī)定了回轉(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺(tái)的計(jì)量特性、校準(zhǔn)條件、校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法等。本規(guī)范主要適用于配合激光干涉儀組合使用的回轉(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺(tái)的校準(zhǔn)。
       
        《X射線熒光鍍層測厚儀校準(zhǔn)規(guī)范》
       
        隨著我國半導(dǎo)體、電子、通信行業(yè)的快速發(fā)展,許多產(chǎn)品都提出了對(duì)鍍層厚度進(jìn)行精確控制的要求,大部分電子制造加工企業(yè)均配備了鍍層分析測量設(shè)備。這種廣泛使用的鍍層厚度測量儀器一種基于X射線熒光分析技術(shù)的比較式測量儀器,為使其測量方法和量值傳遞統(tǒng)一,在2011年首次制定和實(shí)施了此類臺(tái)式儀器的國家校準(zhǔn)規(guī)范:JJF1306-2011X射線熒光鍍層測厚儀校準(zhǔn)規(guī)范。
       
        近十年來,半導(dǎo)體及微電子技術(shù)的快速發(fā)展,特別是我國高鐵、電力通訊的迅猛發(fā)展,為滿足現(xiàn)場測量需要,大力推動(dòng)了手持式X射線熒光分析儀的產(chǎn)品研發(fā)和市場應(yīng)用,相比臺(tái)式儀器,測量原理相同,主要優(yōu)點(diǎn)包括體積小、攜帶方便、使用簡單、性價(jià)比高,導(dǎo)致每年的市場銷售數(shù)量遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了臺(tái)式儀器。
       
        自JJF1306-2011校準(zhǔn)規(guī)范發(fā)布實(shí)施以來,經(jīng)過國內(nèi)計(jì)量校準(zhǔn)部門的實(shí)際應(yīng)用和反饋,總體上,具有較好的實(shí)用性和可操作性,其量值傳遞和溯源技術(shù)方法是科學(xué)可行的,基本滿足國內(nèi)此類儀器的量值溯源的需求,但也有需要完善和改進(jìn)之處:原規(guī)范中規(guī)定的校準(zhǔn)方法有一定局限性,鍍層標(biāo)準(zhǔn)塊的不確定度要求不太合理,同時(shí)鍍層厚度標(biāo)準(zhǔn)塊都只適合于臺(tái)式鍍層測量儀,不適用于當(dāng)今應(yīng)用普遍的手持式測量儀器。
       
        為使該規(guī)范更好的適應(yīng)新技術(shù)、新產(chǎn)品的快速發(fā)展,需要對(duì)規(guī)范中相關(guān)內(nèi)容進(jìn)行增補(bǔ)和修訂,同時(shí)對(duì)原規(guī)范中不合理的部分內(nèi)容進(jìn)行完善和修訂,滿足工業(yè)生產(chǎn)制造及計(jì)量檢測機(jī)構(gòu)對(duì)鍍層厚度測量儀器量值溯源和量值統(tǒng)一的需求。
       
        本規(guī)范適用于臺(tái)式和手持便攜式X射線熒光鍍層測厚儀的校準(zhǔn)。
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