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      正在閱讀：南大光電高端ArF光刻膠獲得突破 未來可用于7nm工藝
      
	
	
      

      

      
		
    
        
    
      
		
	
      
	    
      
		
      
			
			
      
				
				
							
			
      
						
      
				
			
      
						
      
		
      
	
      
    

      
	
      
		
      
			
			
      

				
      
					
      
						
      
							
      南大光電高端ArF光刻膠獲得突破 未來可用于7nm工藝
      

							
							
       2021-06-02 09:15:03來源：快科技  關(guān)鍵詞：芯片研制光刻設(shè)備閱讀量：20844
							
																					
							
							
							
							
      
							
							
							
							
							
							
							
							
							
							 
							
						
      
						
      
					
      
					
      
						導(dǎo)讀：在光刻機(jī)市場(chǎng)上，國(guó)內(nèi)自給率極低，歐美日等地區(qū)的廠商占據(jù)主要份額，JSR、信越化學(xué)等TOP5廠商占據(jù)全球87%的份額。
					
      
					
      
					  
      　　在半導(dǎo)體制造上，國(guó)內(nèi)廠商需要突破的不只是光刻機(jī)等核心設(shè)備，光刻膠也是重要的一環(huán)。南大光電日前宣布，該公司研發(fā)的高端ArF光刻機(jī)已經(jīng)獲得了國(guó)內(nèi)某企業(yè)的認(rèn)證，用于55nm工藝制造。
       
      　　南大光電于5月31日晚間發(fā)布公告，控股子公司寧波南大光電自主研發(fā)的ArF光刻膠繼2020年12月在一家存儲(chǔ)芯片制造企業(yè)的50nm閃存平臺(tái)上通過認(rèn)證后，近日又在邏輯芯片制造企業(yè)55nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的產(chǎn)品上取得了認(rèn)證突破，表明公司光刻膠產(chǎn)品已具備55nm平臺(tái)后段金屬布線層的工藝要求。
       
      　　不過南大光電沒有透露具體的客戶名字。
       
      　　在光刻機(jī)市場(chǎng)上，國(guó)內(nèi)自給率極低，歐美日等地區(qū)的廠商占據(jù)主要份額，JSR、信越化學(xué)等TOP5廠商占據(jù)全球87%的份額。
       
      　　光刻膠有不同的技術(shù)類別，低端的中g(shù)線/i線光刻膠自給率約為20%，KrF光刻膠自給率不足5%，而高端的ArF光刻膠完全依賴進(jìn)口，是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體的卡脖子技術(shù)之一。
       
      　　雖然南大光電的ArF光刻膠現(xiàn)在通過的是55nm工藝認(rèn)證，但ArF光刻膠涵蓋的工藝技術(shù)很廣，可用于90nm-14nm甚至7nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)制造工藝，廣泛應(yīng)用于高端芯片制造(如邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片、AI 芯片、5G芯片和云計(jì)算芯片等)。
       
      　　(原標(biāo)題：南大光電高端ArF光刻膠獲得突破 未來可用于7nm工藝)
      
					
      
																						   
										
      
						
      我要評(píng)論
      
							      
      
                        
      
                            
      
                                
      
                                    
                                    
                                
      
                                
      
                                    
                                    
                                    
                                
      
                                
                            
      
                        
      

                    
      
                                                
      
                            
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        兩大巨頭開設(shè)EUV光刻實(shí)驗(yàn)室！
        
								這一聯(lián)合運(yùn)營(yíng)的光刻實(shí)驗(yàn)室，配備了由imec提供的前沿的光刻設(shè)備，旨在降低制造商在將新技術(shù)應(yīng)用于實(shí)際生產(chǎn)流程前的風(fēng)險(xiǎn)。
								
        光刻設(shè)備								
        2024-06-12 11:15:53
        
							
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        英特爾：已拿下ASML明年上半年大部分NA極紫外光刻設(shè)備！
        
								英特爾的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手如三星和SK海力士則必須等到2025年下半年才能獲得此類設(shè)備。他們還表示，這家美國(guó)芯片制造商在宣布重新進(jìn)入芯片代工或代工芯片生產(chǎn)業(yè)務(wù)時(shí)，搶先購(gòu)買了這些設(shè)備。
								
        光刻設(shè)備								
        2024-05-22 09:43:41
        
							
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        下代EUV光刻機(jī)要來了 炬光科技：是ASML核心供應(yīng)商的重要供應(yīng)商
        
								炬光科技表示，公司為半導(dǎo)體光刻應(yīng)用領(lǐng)域提供光刻機(jī)曝光系統(tǒng)中的核心激光光學(xué)元器件光場(chǎng)勻化器，是荷蘭ASML光學(xué)設(shè)備核心供應(yīng)商A公司的重要供應(yīng)商。相關(guān)商用情況請(qǐng)以官方披露為準(zhǔn)。
								
        光刻機(jī)光刻設(shè)備								
        2022-01-25 17:12:27
        
							
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        阿斯麥去年交付42臺(tái)極紫外光刻機(jī) 帶來63億歐元營(yíng)收
        
								在2020年，阿斯麥?zhǔn)墙桓读?1臺(tái)極紫外光刻機(jī)，帶來了44億歐元的營(yíng)收，2021年較上一年多交付了11臺(tái)，營(yíng)收增加19億歐元。
								
        光刻機(jī)光刻設(shè)備								
        2022-01-21 11:43:51
        
							
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        Raja Koduri曬出512EU的英特爾Xe-HPG DG2 GPU芯片
        
								經(jīng)過了長(zhǎng)時(shí)間的潛心研發(fā)，英特爾似乎已經(jīng)做好了進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)DG2-512顯卡芯片的準(zhǔn)備，以趕上在今年晚些時(shí)候發(fā)布高端獨(dú)顯的時(shí)間窗口。
								
        芯片芯片研制								
        2021-06-03 09:23:30
        
							
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        新思科技助力基于下一代Armv9架構(gòu)的SoC設(shè)計(jì)成功
        
								開發(fā)者在基于Armv9開發(fā)面向智能手機(jī)、筆記本電腦、個(gè)人電腦、數(shù)字電視、可穿戴設(shè)備以及增強(qiáng)和虛擬現(xiàn)實(shí)應(yīng)用等廣泛客戶市場(chǎng)的全新SoC時(shí)，可選擇新思科技高度集成的數(shù)字設(shè)計(jì)、驗(yàn)證和接口IP解決方案組合來實(shí)現(xiàn)更高的差異化和更快的上市時(shí)間。
								
        智能軟件芯片研制								
        2021-06-02 14:00:27
        
							
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