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ASML揭秘1.2億美元一臺的EUV光刻機(jī)：10萬零部件、配送時間兩年

2021-03-18 09:23:15來源：快科技關(guān)鍵詞：光刻機(jī)光刻機(jī)工廠閱讀量：25670

導(dǎo)讀：按照Yen的說法，當(dāng)前ASML的EUV光刻機(jī)單臺售價1.2億美元(約合7.8億元)左右，由超過10萬個精密零部件組成。

　　荷蘭ASML(阿斯麥)是有名的EUV光刻機(jī)制造商，中芯的7nm工藝雖然已經(jīng)技術(shù)開發(fā)完成，但目前卡脖子的關(guān)鍵一環(huán)就是買不到EUV。

　　在新的媒體交流活動中，ASML技術(shù)開發(fā)副總裁Tony Yen披露了一些EUV光刻機(jī)不為人知的細(xì)節(jié)。

　　EUV即極紫外光刻，它是借助13.5nm波長極紫外光在硅晶圓上蝕刻數(shù)十億規(guī)模的微縮結(jié)構(gòu)。

　　按照Yen的說法，當(dāng)前ASML的EUV光刻機(jī)單臺售價1.2億美元(約合7.8億元)左右，由超過10萬個精密零部件組成。

　　Yen笑著表示，買我們的EUV光刻機(jī)可不是今天下單，兩天內(nèi)送達(dá)，通常需要兩年的時間才能配送到貨，發(fā)運(yùn)是需要多達(dá)40個集裝箱。

　　據(jù)悉，世界上第一臺EUV光刻機(jī)2010年在三星裝配，第二臺2011年進(jìn)駐臺積電。談及摩爾定律，ASML認(rèn)為至少還能延續(xù)10年。

　　(原標(biāo)題：ASML揭秘1.2億美元一臺的EUV光刻機(jī)：10萬零部件、配送時間兩年)

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